数字全息测量微结构表面形貌算法研究
| 摘要 | 第4-5页 |
| Abstract | 第5-6页 |
| 第1章 绪论 | 第9-18页 |
| 1.1 课题背景及研究的目的和意义 | 第9页 |
| 1.2 数字全息技术国内外发展现状 | 第9-15页 |
| 1.2.1 数字全息术的特点 | 第9-10页 |
| 1.2.2 全息术的发展 | 第10-12页 |
| 1.2.3 数字全息术的国外研究现状 | 第12-14页 |
| 1.2.4 数字全息术的国内研究现状 | 第14-15页 |
| 1.3 数字全息术的研究热点及存在的问题 | 第15-16页 |
| 1.4 本文主要研究内容 | 第16-18页 |
| 第2章 数字全息显微成像技术的原理 | 第18-35页 |
| 2.1 数字全息术用于结构形貌测量的原理 | 第18-23页 |
| 2.1.1 数字全息记录和再现的基本原理 | 第18-20页 |
| 2.1.2 数字全息显微术的记录光路 | 第20-22页 |
| 2.1.3 三维形貌测量原理 | 第22-23页 |
| 2.2 数字全息记录条件分析 | 第23-30页 |
| 2.3 数字全息术的再现算法 | 第30-34页 |
| 2.3.1 菲涅耳变换再现算法 | 第30-31页 |
| 2.3.2 卷积再现算法 | 第31页 |
| 2.3.3 角谱再现算法 | 第31-32页 |
| 2.3.4 三种再现算法的比较 | 第32-34页 |
| 2.4 本章小结 | 第34-35页 |
| 第3章 数字全息显微成像预处理方法的研究 | 第35-52页 |
| 3.1 数字全息的分辨率 | 第35-37页 |
| 3.2 零级衍射像与共轭像的消除 | 第37-47页 |
| 3.2.1 频域滤波法 | 第37-42页 |
| 3.2.2 减平均值法 | 第42-43页 |
| 3.2.3 HRO相减法 | 第43-44页 |
| 3.2.4 空间相移滤波法 | 第44-45页 |
| 3.2.5 时间相移滤波法 | 第45-47页 |
| 3.3 数字全息的自聚焦问题 | 第47-51页 |
| 3.3.1 算法原理 | 第47-49页 |
| 3.3.2 自聚焦算法的计算机模拟 | 第49-51页 |
| 3.4 本章小结 | 第51-52页 |
| 第4章 数字全息相位重建算法的研究 | 第52-74页 |
| 4.1 相位解包裹算法 | 第52-60页 |
| 4.1.1 相位解包裹算法的原理 | 第52-54页 |
| 4.1.2 行列逐点解包裹算法 | 第54-55页 |
| 4.1.3 最小二乘解包裹算法 | 第55-60页 |
| 4.2 相位畸变补偿算法 | 第60-65页 |
| 4.2.1 两步法相位畸变补偿算法 | 第61-62页 |
| 4.2.2 自动相位补偿算法 | 第62-65页 |
| 4.3 相位解包裹算法及补偿算法的仿真 | 第65-73页 |
| 4.4 本章小结 | 第73-74页 |
| 结论 | 第74-75页 |
| 参考文献 | 第75-79页 |
| 攻读学位期间发表的学术论文及其它成果 | 第79-81页 |
| 致谢 | 第81页 |
