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基于超快激光的石墨烯刻蚀及改性研究

致谢第5-6页
摘要第6-7页
ABSTRACT第7页
1 绪论第10-24页
    1.1 引言第10页
    1.2 石墨烯概论第10-18页
        1.2.1 石墨烯的性能第11-13页
        1.2.2 石墨烯的制备第13-15页
        1.2.3 石墨烯的应用第15-18页
    1.3 激光与石墨烯作用概论第18-20页
        1.3.1 激光制备石墨烯第18-19页
        1.3.2 激光清洁与分解石墨烯第19-20页
        1.3.3 激光烧蚀石墨烯第20页
        1.3.4 激光减薄石墨烯第20页
    1.4 问题的提出与本文的内容第20-24页
        1.4.1 问题的提出第20-21页
        1.4.2 本文的主要内容第21-24页
2 实验的试剂、设备及表征方法第24-28页
    2.1 实验试剂第24页
    2.2 实验设备第24-25页
    2.3 实验表征方法第25-28页
        2.3.1 光学显微镜第25页
        2.3.2 拉曼光谱仪第25-27页
        2.3.4 扫描电子显微镜第27页
        2.3.5 X射线光电子能谱仪第27-28页
3 激光刻蚀石墨烯的研究第28-48页
    3.1 引言第28页
    3.2 激光刻蚀石墨烯的原理第28-29页
    3.3 532 nm纳秒激光刻蚀石墨烯的研究第29-33页
        3.3.1 实验部分第29页
        3.3.2 实验结果分析第29-32页
        3.3.3 实验的不足之处第32-33页
    3.4 1064 nm皮秒激光刻蚀石墨烯的研究第33-44页
        3.4.1 化学气相沉积法生长石墨烯第33-36页
        3.4.2 湿法刻蚀铜法转移石墨烯第36-41页
        3.4.3 1064 nm激光刻蚀石墨烯第41-44页
    3.5 两组实验的对比第44-46页
    3.6 本章小结第46-48页
4 激光改性的石墨烯表面生长氧化铝第48-62页
    4.1 引言第48页
    4.2 原子层沉积技术简介第48-50页
    4.3 ALD工艺在激光辐照过的石墨烯表面制备氧化铝薄膜第50-54页
        4.3.1 实验部分第50-51页
        4.3.2 实验结果分析第51-54页
    4.4 激光辐照过的石墨烯生长氧化铝的机理第54-59页
    4.5 本章小结第59-62页
5 结论第62-64页
参考文献第64-68页
作者简介及攻读硕士学位期间取得的研究成果第68-72页
学位论文数据集第72页

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