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准分子激光损伤K9玻璃和熔石英的理论与实验研究

摘要第5-8页
ABSTRACT第8-11页
第1章 绪论第15-23页
    1.1 研究背景及意义第15-17页
    1.2 国内外研究现状及分析第17-20页
    1.3 研究内容和章节安排第20-23页
        1.3.1 研究内容第20-21页
        1.3.2 章节安排第21-23页
第2章 光学材料的激光损伤第23-36页
    2.1 传热学基本原理第23-25页
        2.1.1 传热的三种基本方式第23-25页
        2.1.2 热传导方程第25页
    2.2 热力学相关理论第25-26页
        2.2.1 弹性材料的应力—应变曲线第25-26页
        2.2.2 弹性应力与应变第26页
        2.2.3 激光热应力第26页
    2.3 有限元分析软件ANSYS第26-28页
        2.3.1 ANSYS简介第26-27页
        2.3.2 ANSYS分析过程第27-28页
    2.4 激光损伤的定义和作用方式第28-29页
        2.4.1 激光损伤的定义第28页
        2.4.2 激光辐照的四种作用方式第28-29页
    2.5 光学材料的激光损伤机制第29-35页
        2.5.1 热损伤机制第29-30页
        2.5.2 雪崩电离损伤机制第30-31页
        2.5.3 多光子电离损伤机制第31-32页
        2.5.4 缺陷损伤机制第32-34页
        2.5.5 非线性效应损伤机制第34-35页
    2.6 本章小结第35-36页
第3章 准分子激光损伤K9玻璃的理论模拟第36-62页
    3.1 理论模型第36-40页
    3.2 准分子激光辐照K9玻璃的热力效应分析第40-49页
        3.2.1 温度与应力分布第40-43页
        3.2.2 热力效应的时间特征第43-46页
        3.2.3 激光重频对损伤效果的影响第46-49页
    3.3 准分子激光辐照K9玻璃的损伤阈值分析第49-60页
        3.3.1 损伤形态与损伤闽值第49-50页
        3.3.2 熔融损伤闽值第50-52页
        3.3.3 应力损伤阈值第52-56页
        3.3.4 损伤发展情况第56-57页
        3.3.5 激光参数对损伤闽值的影响第57-60页
    3.4 本章小结第60-62页
第4章 不同波长的准分子激光损伤K9玻璃的实验研究第62-101页
    4.1 193nmArF准分子激光损伤K9玻璃的实验研究第62-74页
        4.1.1 实验装置和实验方法第62-64页
        4.1.2 实验结果第64-72页
        4.1.3 损伤机制分析第72-74页
    4.2 248nmKrF准分子激光损伤K9玻璃的实验研究第74-89页
        4.2.1 实验装置和实验方法第74-76页
        4.2.2 实验结果及分析第76-85页
        4.2.3 理论验证与损伤机制分析第85-89页
    4.3 308nmXeCl准分子激光损伤K9玻璃的实验研究第89-96页
        4.3.1 实验装置和实验方法第89-90页
        4.3.2 实验结果及分析第90-95页
        4.3.3 损伤机制分析第95-96页
    4.4 准分子激光和脉冲CO_2激光损伤K9玻璃的实验对比与分析第96-99页
        4.4.1 损伤阈值对比分析第96-98页
        4.4.2 损伤形貌对比分析第98-99页
    4.5 本章小结第99-101页
第5章 不同波长的准分子激光损伤熔石英的实验研究第101-132页
    5.1 实验装置和实验方法第101-102页
    5.2 不同波长作用下的熔石英损伤阈值第102-105页
        5.2.1 193nmArF激光对熔石英的损伤闽值第102-103页
        5.2.2 248nmKrF激光对熔石英的损伤闽值第103-104页
        5.2.3 308nmXeCl激光对熔石英的损伤阈值第104页
        5.2.4 损伤闽值对比第104-105页
    5.3 不同波长作用下熔石英的损伤形貌第105-117页
        5.3.1 193nmArF激光对熔石英的损伤形貌第105-108页
        5.3.2 248nmKrF激光对熔石英的损伤形貌第108-113页
        5.3.3 308nmXeCl激光对熔石英的损伤形貌第113-117页
    5.4 不同波长作用下的损伤增长规律第117-122页
        5.4.1 193nmArF激光对熔石英的损伤增长规律第117-118页
        5.4.2 248nmKrF激光对熔石英的损伤增长规律第118-119页
        5.4.3 308nmXeCl激光对熔石英的损伤增长规律第119-121页
        5.4.4 损伤增长规律对比第121-122页
    5.5 损伤机制分析第122-125页
        5.5.1 相同的损伤形貌及机制分析第122-123页
        5.5.2 不同的损伤形貌及机制分析第123-125页
    5.6 对表面杂质引起的热损伤行为的理论模拟第125-130页
        5.6.1 杂质种类和含量检测第125-126页
        5.6.2 理论模型第126-128页
        5.6.3 计算结果与讨论第128-130页
    5.7 本章小结第130-132页
第6章 总结与展望第132-137页
    6.1 论文总结第132-135页
    6.2 论文的主要创新点第135页
    6.3 未来工作展望第135-137页
参考文献第137-148页
致谢第148-149页
在读期间发表的学术论文与取得的其他研究成果第149页

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