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ZnO基薄膜的生长及其紫外光敏电阻器的研制

致谢第1-6页
中文摘要第6-7页
ABSTRACT第7-11页
1 引言第11-27页
   ·光敏电阻器概述第11-12页
   ·ZnO的基本性质第12-13页
   ·ZnO的能带工程第13-16页
   ·紫外光敏电阻器应用及研究进展第16-17页
   ·选题意义及研究内容第17-19页
 参考文献第19-27页
2 c轴取向ZnO薄膜的生长及其紫外光敏电阻器的研制第27-43页
   ·引言第27-28页
   ·高质量c轴取向的ZnO薄膜的控制生长第28-33页
     ·薄膜生长第28-30页
     ·薄膜特性第30-33页
   ·ZnO基紫外光敏电阻器的研制第33-39页
     ·光敏电阻器原理第33-34页
     ·紫外光敏电阻器制作第34页
     ·ZnO基紫外光敏电阻器特性第34-39页
   ·本章小结第39-41页
 参考文献第41-43页
3 非极性a轴取向的ZnO薄膜的生长及特性研究第43-59页
   ·引言第43-44页
   ·r面蓝宝石衬底上a面ZnO薄膜的控制生长第44-52页
     ·薄膜生长第44-45页
     ·薄膜的性能第45-52页
   ·a面ZnO薄膜的发光机理第52-55页
   ·本章小结第55-56页
 参考文献第56-59页
4 MgZnO薄膜的生长及其日盲光敏电阻器的研制第59-81页
   ·引言第59-61页
   ·c面MgZnO薄膜的控制生长及紫外光敏电阻器的研制第61-66页
     ·c面MgZnO薄膜的控制生长第61-64页
     ·基于c面MgZnO薄膜的紫外光敏电阻器的研制第64-66页
   ·a面MgZnO薄膜的控制生长及紫外光敏电阻器的研制第66-70页
     ·a面MgZnO薄膜的控制生长第66-68页
     ·基于a面MgZnO薄膜的紫外光敏电阻器的研制第68-70页
   ·宽带隙MgnO薄膜的控制生长及其日盲紫外光敏电阻器的研制第70-77页
     ·宽带隙MgZnO薄膜的生长第70-74页
     ·日盲光敏电阻器的性能第74-77页
   ·本章小结第77-78页
 参考文献第78-81页
5 ZnO基声表面波器件的研制第81-89页
   ·引言第81-82页
   ·声表面波器件的制备第82-83页
   ·声表面波器件的性能第83-85页
   ·本章小结第85-86页
 参考文献第86-89页
6 结论第89-91页
作者简历第91-95页
学位论文数据集第95页

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