精密片式薄膜固定电阻器的研究

摘要	第1-5页
Abstract	第5-9页
第一章 绪论	第9-13页
·引言	第9-10页
·国内外片式薄膜固定电阻器研究现状	第10-11页
·片式薄膜固定电阻器的市场前景	第11-12页
·本课题研究的主要内容、目的和意义	第12-13页
第二章 片式薄膜固定电阻器的理论基础	第13-23页
·关于薄膜	第13-18页
·薄膜起源	第13页
·薄膜的定义	第13-14页
·薄膜的形成方式	第14-18页
·片式电阻器理论基础	第18-23页
·电阻器的发展概况	第18页
·电阻器的分类	第18-20页
·片式薄膜固定电阻器及其发展概况	第20-23页
第三章 电阻薄膜制备工艺与性能研究	第23-46页
·引言	第23页
·电阻薄膜的制备方法	第23-25页
·薄膜沉积设备与材料	第23-24页
·制备过程	第24-25页
·电阻薄膜性能研究	第25-44页
·陶瓷基片表面粗糙度和洁净度对薄膜性能的影响	第26-28页
·衬底温度对薄膜性能的影响	第28-29页
·溅射功率对薄膜性能的影响	第29-32页
·溅射时间对薄膜性能的影响	第32-35页
·热处理对薄膜性能的影响	第35-40页
·热处理对薄膜表面形貌的影响	第40-41页
·热处理后电阻薄膜XRD 分析	第41-44页
·本章小结	第44-46页
第四章 薄膜电阻的高精度研究	第46-57页
·引言	第46-47页
·优化蛇形切割以提高薄膜产品调阻合格率	第47-52页
·激光调阻工序中影响产品精度的因素	第52-55页
·人的因素	第52页
·设备因素	第52-54页
·材料因素	第54-55页
·法律法规因素	第55页
·环境因素	第55页
·实际中需要改进的因素	第55页
·本章小结	第55-57页
第五章 总结和未来工作设想	第57-59页
致谢	第59-60页
参考文献	第60-63页