多个硫化物靶溅射制备铜锌锡硫（硒）（CZTS(Se)）薄膜及性能研究
| 摘要 | 第3-5页 |
| Abstract | 第5-7页 |
| 第1章 绪论 | 第11-21页 |
| 1.1 引言 | 第11-12页 |
| 1.2 太阳电池工作原理 | 第12-14页 |
| 1.3 CZTS薄膜太阳电池研究进展 | 第14-15页 |
| 1.4 CZTS(Se)薄膜的制备方法 | 第15-19页 |
| 1.4.1 真空法 | 第16-17页 |
| 1.4.2 非真空法 | 第17-19页 |
| 1.5 选题的意义及研究内容 | 第19-21页 |
| 1.5.1 选题意义 | 第19-20页 |
| 1.5.2 研究内容 | 第20-21页 |
| 第2章 CZTS(Se)薄膜材料的制备与表征 | 第21-29页 |
| 2.1 实验材料 | 第21-22页 |
| 2.2 实验仪器设备 | 第22-25页 |
| 2.2.1 CZTS薄膜制备设备 | 第23页 |
| 2.2.2 CZTS薄膜测试设备 | 第23-25页 |
| 2.3 本研究主要工艺参数及制备过程 | 第25-26页 |
| 2.3.1 工艺参数 | 第25页 |
| 2.3.2 薄膜制备过程 | 第25-26页 |
| 2.4 CZTS薄膜的表征 | 第26-29页 |
| 2.4.1 薄膜厚度的测量 | 第26页 |
| 2.4.2 薄膜组分及形貌分析 | 第26-27页 |
| 2.4.3 CZTS薄膜物相分析 | 第27页 |
| 2.4.4 CZTS薄膜光学性能测试 | 第27页 |
| 2.4.5 CZTS薄膜电学性能分析 | 第27-28页 |
| 2.4.6 器件的光荧光谱(PL)测试 | 第28-29页 |
| 第3章 CZTS(Se)薄膜的制备及表征 | 第29-47页 |
| 3.1 各靶材溅射速率 | 第29页 |
| 3.2 含硫预制层的设计及制备 | 第29-31页 |
| 3.3 CZTS(Se)薄膜的制备研究 | 第31-33页 |
| 3.3.1 CZTS(Se)薄膜的制备 | 第31页 |
| 3.3.2 CZTS(Se)薄膜的测试表征 | 第31-33页 |
| 3.4 不同堆叠顺序制备的CZTS薄膜的研究 | 第33-40页 |
| 3.4.1 CZTS薄膜的EDS测试 | 第33-34页 |
| 3.4.2 CZTS薄膜的附着性表征 | 第34-37页 |
| 3.4.3 CZTS薄膜的物相分析 | 第37-40页 |
| 3.5 周期性变化制备的CZTS薄膜的研究 | 第40-47页 |
| 3.5.1 CZTS薄膜的EDS测试 | 第41页 |
| 3.5.2 CZTS薄膜的XRD测试 | 第41-42页 |
| 3.5.3 CZTS薄膜的Raman测试 | 第42-43页 |
| 3.5.4 CZTS薄膜的SEM测试 | 第43-46页 |
| 3.5.5 CZTS薄膜的禁带宽度 | 第46-47页 |
| 第4章 CZTS薄膜的退火研究及电池器件的制备 | 第47-55页 |
| 4.1 CZTS薄膜的退火研究 | 第47-49页 |
| 4.2 CZTS薄膜电池器件的制备 | 第49-51页 |
| 4.2.1 Mo电极的制备 | 第49-50页 |
| 4.2.2 缓冲层的制备 | 第50页 |
| 4.2.3 窗口层的制备 | 第50-51页 |
| 4.3 CZTS薄膜电池器件测试 | 第51-55页 |
| 第5章 结论与展望 | 第55-57页 |
| 5.1 结论 | 第55-56页 |
| 5.2 论文创新点 | 第56页 |
| 5.3 未来工作展望 | 第56-57页 |
| 参考文献 | 第57-62页 |
| 攻读学位期间发表的学术论文和研究成果 | 第62-64页 |
| 致谢 | 第64页 |
