| 摘要 | 第4-5页 |
| Abstract | 第5页 |
| 1 绪论 | 第8-13页 |
| 1.1 课题研究的背景和意义 | 第8-10页 |
| 1.2 课题研究的现状及发展趋势 | 第10-11页 |
| 1.3 本论文的主要工作 | 第11-13页 |
| 2 ITO膜激光刻蚀系统(ET650IR)的结构 | 第13-23页 |
| 2.1 ITO膜激光刻蚀设备(ET650IR)的硬件结构 | 第13-18页 |
| 2.2 ITO膜激光刻蚀系统(ET650IR)的软件设计 | 第18-22页 |
| 2.3 本章小结 | 第22-23页 |
| 3 激光刻蚀ITO路径的生成与优化 | 第23-31页 |
| 3.1 ITO刻蚀路径的要求与匹配 | 第23-24页 |
| 3.2 ITO刻蚀路径信息的提取 | 第24-29页 |
| 3.3 ITO刻蚀路径的优化 | 第29-30页 |
| 3.4 本章小结 | 第30-31页 |
| 4 基于机器视觉的ITO精密定位系统 | 第31-44页 |
| 4.1 ITO膜精密定位技术要求 | 第31-32页 |
| 4.2 ITO定位系统各坐标系的关系 | 第32-35页 |
| 4.3 针对ITO定位点的图像识别 | 第35-38页 |
| 4.4 理论坐标到实际坐标的映射关系 | 第38-41页 |
| 4.5 坐标变换的实现流程 | 第41-43页 |
| 4.6 本章小结 | 第43-44页 |
| 5 ITO激光刻蚀系统的光路精密控制 | 第44-61页 |
| 5.1 ITO刻蚀光路系统的误差分析 | 第44-47页 |
| 5.2 基于机器视觉的扫描误差精密校正 | 第47-54页 |
| 5.3 双振镜扫描系统的控制方法 | 第54-56页 |
| 5.4 ITO激光刻蚀系统(ET650IR)性能测试 | 第56-60页 |
| 5.5 本章小结 | 第60-61页 |
| 6 总结与展望 | 第61-63页 |
| 6.1 全文总结 | 第61-62页 |
| 6.2 研究展望 | 第62-63页 |
| 致谢 | 第63-64页 |
| 参考文献 | 第64-68页 |
| 附录1 攻读硕士学位期间发表论文目录 | 第68页 |
