相移法探测表面轮廓技术的研究
| 摘要 | 第4-5页 |
| ABSTRACT | 第5页 |
| 第1章 绪论 | 第8-14页 |
| 1.1 课题背景及研究的目的和意义 | 第8页 |
| 1.2 国内外在该方向的研究现状及分析 | 第8-13页 |
| 1.2.1 国外研究现状 | 第8-10页 |
| 1.2.2 国内研究现状 | 第10-12页 |
| 1.2.3 国内外文献综述 | 第12-13页 |
| 1.3 本文的主要研究内容 | 第13-14页 |
| 第2章 MEMS振镜实现相移探测理论 | 第14-27页 |
| 2.1 基本探测原理 | 第14-18页 |
| 2.1.1 条纹图形生成 | 第15-17页 |
| 2.1.2 相移法三维探测原理 | 第17-18页 |
| 2.2 系统数学模型 | 第18-22页 |
| 2.2.1 光学系统模型 | 第18-20页 |
| 2.2.2 条纹相位角度模型 | 第20-22页 |
| 2.3 数据处理方法 | 第22-26页 |
| 2.3.1 基本数据处理 | 第22-25页 |
| 2.3.2 系统参数优化 | 第25-26页 |
| 2.4 本章小结 | 第26-27页 |
| 第3章 相移法表面探测仿真研究 | 第27-43页 |
| 3.1 仿真探测原理 | 第27-32页 |
| 3.2 平面仿真探测 | 第32-39页 |
| 3.2.1 激光器调制频率 | 第33-35页 |
| 3.2.2 CCD摆放角度(θ) | 第35-37页 |
| 3.2.3 物距(DC)与 θ | 第37-39页 |
| 3.2.4 MEMS振镜位置(L0) | 第39页 |
| 3.3 空间曲面仿真探测 | 第39-42页 |
| 3.4 本章小结 | 第42-43页 |
| 第4章 MEMS振镜相移成像实验 | 第43-61页 |
| 4.1 探测系统搭建与参数测量 | 第43-49页 |
| 4.1.1 MEMS振镜投影系统 | 第43-46页 |
| 4.1.2 图像接收系统 | 第46-47页 |
| 4.1.3 同步控制系统 | 第47-48页 |
| 4.1.4 其他系统参数测量 | 第48-49页 |
| 4.2 探测系统控制信号设计 | 第49-52页 |
| 4.3 MEMS振镜相移成像实验 | 第52-60页 |
| 4.3.1 实验系统整体性能测试 | 第52-54页 |
| 4.3.2 平板平面探测实验 | 第54-57页 |
| 4.3.3 石膏像探测实验 | 第57-59页 |
| 4.3.4 实验结果分析 | 第59-60页 |
| 4.4 本章小结 | 第60-61页 |
| 结论 | 第61-62页 |
| 参考文献 | 第62-66页 |
| 攻读硕士学位期间发表的论文及其它成果 | 第66-68页 |
| 致谢 | 第68页 |
