| 摘要 | 第5-6页 |
| Abstract | 第6-7页 |
| 第1章 绪论 | 第10-21页 |
| 1.1 课题研究背景 | 第10页 |
| 1.2 研究意义 | 第10-11页 |
| 1.3 氮化物薄膜的制备方法 | 第11-13页 |
| 1.4 氮化物薄膜的研究现状 | 第13-18页 |
| 1.4.1 Ti基类氮化物薄膜 | 第13-15页 |
| 1.4.2 Cr基类氮化物薄膜 | 第15-18页 |
| 1.4.3 氮化物薄膜的抗氧化性 | 第18页 |
| 1.5 主要研究内容 | 第18-21页 |
| 1.5.1 研究方案 | 第18-19页 |
| 1.5.2 研究内容 | 第19-21页 |
| 第2章 实验方法及实验设备 | 第21-27页 |
| 2.1 氮化物薄膜的制备 | 第21-24页 |
| 2.1.1 阴极电弧离子镀制备样品 | 第21页 |
| 2.1.2 磁控溅射制备样品 | 第21-24页 |
| 2.2 氮化物薄膜的表征 | 第24-25页 |
| 2.2.1 热处理设备 | 第24页 |
| 2.2.2 微观形貌分析 | 第24-25页 |
| 2.2.3 力学性能分析 | 第25页 |
| 2.3 氮化物薄膜摩擦学性能测试 | 第25-27页 |
| 2.3.1 室温摩擦学性能测试 | 第25-26页 |
| 2.3.2 高温摩擦学性能测试 | 第26-27页 |
| 第3章 对磨副材料及载荷对CrN薄膜摩擦学性能的影响 | 第27-35页 |
| 3.1 引言 | 第27页 |
| 3.2 CrN薄膜的组织结构和力学性能 | 第27-29页 |
| 3.3 316L不锈钢和CrN薄膜的摩擦学性能 | 第29-34页 |
| 3.3.1 与Si_3N_4陶瓷球对磨的摩擦学性能 | 第29-32页 |
| 3.3.2 与52100钢球对磨的摩擦学性能 | 第32-34页 |
| 3.4 本章小结 | 第34-35页 |
| 第4章 AlCr N薄膜的组织结构和摩擦学性能 | 第35-50页 |
| 4.1 AlCrN薄膜的组织结构和力学性能 | 第35-37页 |
| 4.2 AlCrN薄膜的摩擦学性能 | 第37-42页 |
| 4.2.1 摩擦系数 | 第37-38页 |
| 4.2.2 磨损率 | 第38-39页 |
| 4.2.3 磨损形貌 | 第39-42页 |
| 4.3 温度对AlCrN薄膜组织结构和力学性能的影响 | 第42-49页 |
| 4.3.1 大气环境下热处理温度对AlCrN薄膜组织结构和力学性能的影响 | 第42-46页 |
| 4.3.2 真空环境下热处理温度对AlCrN薄膜组织结构和力学性能的影响 | 第46-49页 |
| 4.4 本章小结 | 第49-50页 |
| 第5章 AlCr N薄膜的高温摩擦学性能 | 第50-62页 |
| 5.1 表面形貌与成分 | 第50-52页 |
| 5.2 大气环境中温度对组织结构和力学性能的影响 | 第52-57页 |
| 5.2.1 形貌分析 | 第52-55页 |
| 5.2.2 XRD分析 | 第55-56页 |
| 5.2.3 力学性能分析 | 第56-57页 |
| 5.3 高温摩擦学性能 | 第57-61页 |
| 5.3.1 摩擦系数 | 第58页 |
| 5.3.2 磨损率 | 第58-59页 |
| 5.3.3 磨损机制 | 第59-61页 |
| 5.4 本章小结 | 第61-62页 |
| 第6章 结论及展望 | 第62-64页 |
| 6.1 结论 | 第62-63页 |
| 6.2 展望 | 第63-64页 |
| 致谢 | 第64-65页 |
| 参考文献 | 第65-71页 |
| 个人简历 | 第71-72页 |
| 攻读硕士期间研究成果 | 第72页 |
