基于剪切型压电陶瓷的二维精密平台研究
| 摘要 | 第4-5页 |
| ABSTRACT | 第5页 |
| 第1章 绪论 | 第8-17页 |
| 1.1 课题研究的背景及意义 | 第8-9页 |
| 1.2 国内外研究现状 | 第9-15页 |
| 1.2.1 国外研究现状 | 第9-13页 |
| 1.2.2 国内研究现状 | 第13-14页 |
| 1.2.3 国内外研究现状综述 | 第14-15页 |
| 1.3 主要研究内容 | 第15-17页 |
| 第2章 二维精密平台结构设计与运动理论分析 | 第17-30页 |
| 2.1 引言 | 第17页 |
| 2.2 二维精密平台结构设计 | 第17-21页 |
| 2.3 载物台转动倾倒问题分析 | 第21-26页 |
| 2.3.1 载物台的转动问题分析 | 第22-23页 |
| 2.3.2 载物台的倾倒问题分析 | 第23-26页 |
| 2.4 载物台平移问题分析 | 第26-29页 |
| 2.4.1 驱动平面一维运动情况 | 第26-27页 |
| 2.4.2 驱动平面二维运动情况 | 第27-29页 |
| 2.5 本章小结 | 第29-30页 |
| 第3章 驱动电压波形对系统性能的影响 | 第30-50页 |
| 3.1 引言 | 第30页 |
| 3.2 标准锯齿波驱动的不足 | 第30-31页 |
| 3.3 粗定位驱动波形设计 | 第31-37页 |
| 3.3.1 间断锯齿波驱动波形分析 | 第31-35页 |
| 3.3.2 n次幂型驱动波形分析 | 第35-36页 |
| 3.3.3 指数型驱动波形分析 | 第36-37页 |
| 3.4 精定位驱动波形设计 | 第37-45页 |
| 3.4.1 加速-匀速-减速型驱动波形分析 | 第37-44页 |
| 3.4.2 精定位驱动的临界频率分析 | 第44-45页 |
| 3.5 粗精定位驱动波形参数影响分析 | 第45-49页 |
| 3.5.1 粗定位波形的仿真分析 | 第45-47页 |
| 3.5.2 精定位波形的仿真分析 | 第47-49页 |
| 3.6 本章小结 | 第49-50页 |
| 第4章 实验系统构建与精密平台性能测试 | 第50-64页 |
| 4.1 引言 | 第50页 |
| 4.2 二维精密平台的机械系统构建 | 第50-51页 |
| 4.3 二维精密平台的驱动控制系统设计 | 第51-55页 |
| 4.4 二维精密平台性能测试实验 | 第55-63页 |
| 4.4.1 间断锯齿波驱动下x/y方向特性 | 第55-59页 |
| 4.4.2 粗定位波形驱动下性能测试实验 | 第59-61页 |
| 4.4.3 精定位波形驱动下性能测试实验 | 第61-62页 |
| 4.4.4 系统分辨率的性能测试实验 | 第62-63页 |
| 4.5 本章小结 | 第63-64页 |
| 结论 | 第64-66页 |
| 参考文献 | 第66-70页 |
| 攻读学位期间发表的学术论文及其他成果 | 第70-72页 |
| 致谢 | 第72页 |
