| 摘要 | 第4-6页 |
| ABSTRACT | 第6-7页 |
| 目录 | 第8-11页 |
| CONTENTS | 第11-14页 |
| 第一章 绪论 | 第14-25页 |
| 1.1 引言 | 第14-15页 |
| 1.2 薄膜的铁电性能 | 第15-17页 |
| 1.2.1 电滞回线 | 第15-16页 |
| 1.2.2 C-V曲线 | 第16-17页 |
| 1.3 薄膜结构、形貌及性能表征方法 | 第17-19页 |
| 1.3.1 X射线衍射 | 第17-18页 |
| 1.3.2 扫描电子显微镜 | 第18页 |
| 1.3.3 铁电漏电分析仪 | 第18-19页 |
| 1.4 薄膜的制备技术 | 第19-21页 |
| 1.4.1 薄膜的制备方法 | 第19-20页 |
| 1.4.2 薄膜的制备过程 | 第20-21页 |
| 1.5 研究背景及课题的确定 | 第21-24页 |
| 1.5.1 研究背景 | 第21-23页 |
| 1.5.2 课题的确定 | 第23-24页 |
| 1.6 本文主要研究内容 | 第24-25页 |
| 第二章 N_2气氛退火的BNMO/LNO薄膜的制备与电性能研究 | 第25-35页 |
| 2.1 前言 | 第25-26页 |
| 2.2 样品制备与性能测试 | 第26-28页 |
| 2.3 实验结果与讨论分析 | 第28-34页 |
| 2.3.1 结构与形貌 | 第28-29页 |
| 2.3.2 铁电性能 | 第29-31页 |
| 2.3.3 漏电流分析 | 第31-34页 |
| 2.4 小结 | 第34-35页 |
| 第三章 N_2气氛退火的BNMO/LSMO薄膜的制备与电性能研究 | 第35-47页 |
| 3.1 前言 | 第35-36页 |
| 3.2 样品制备与性能测试 | 第36-37页 |
| 3.3 实验结果与讨论分析 | 第37-46页 |
| 3.3.1 结构与形貌 | 第37-38页 |
| 3.3.2 铁电性能 | 第38-39页 |
| 3.3.3 漏电流分析 | 第39-43页 |
| 3.3.4 底电极对BNMO薄膜性能的影响 | 第43-46页 |
| 3.5 小结 | 第46-47页 |
| 第四章 O_2气氛退火的BNMO/LNO薄膜的研究 | 第47-56页 |
| 4.1 前言 | 第47-48页 |
| 4.2 样品制备与性能测试 | 第48页 |
| 4.3 实验结果与讨论分析 | 第48-55页 |
| 4.3.1 结构 | 第48-49页 |
| 4.3.2 铁电性能 | 第49-50页 |
| 4.3.3 漏电流分析 | 第50-51页 |
| 4.3.4 退火气氛对BNMO薄膜性能的影响 | 第51-55页 |
| 4.5 小结 | 第55-56页 |
| 第五章 不同厚度下BNMO/LNO薄膜的研究 | 第56-63页 |
| 5.1 前言 | 第56页 |
| 5.2 样品制备与性能测试 | 第56-57页 |
| 5.3 实验结果与讨论分析 | 第57-62页 |
| 5.3.1 结构与形貌 | 第57-58页 |
| 5.3.2 铁电性能 | 第58-59页 |
| 5.3.3 漏电流分析 | 第59-60页 |
| 5.3.4 电阻开关效应 | 第60-62页 |
| 5.4 小结 | 第62-63页 |
| 结论 | 第63-65页 |
| 参考文献 | 第65-72页 |
| 攻读硕士学位期间发表学术论文情况 | 第72-74页 |
| 致谢 | 第74页 |
