面向复合式测量的自感应AFM测头开发与系统研究
| 摘要 | 第1-4页 |
| ABSTRACT | 第4-12页 |
| 第一章 绪论 | 第12-30页 |
| ·研究背景 | 第12-15页 |
| ·微纳米制造技术 | 第12-13页 |
| ·微纳米测量技术 | 第13-15页 |
| ·原子力显微镜及其发展现状 | 第15-27页 |
| ·原子力显微镜介绍 | 第15-16页 |
| ·动态原子力显微镜 | 第16-19页 |
| ·探针信号的自感应检测方式 | 第19-22页 |
| ·大范围计量型原子力显微镜 | 第22-26页 |
| ·原子力显微镜与其他测量方法的结合 | 第26-27页 |
| ·课题研究意义和工作内容 | 第27-30页 |
| 第二章 自感应音叉探针的理论模型和有限元分析 | 第30-58页 |
| ·动态AFM 的调制原理 | 第30-35页 |
| ·幅度调制原理 | 第30-33页 |
| ·频率调制原理 | 第33-35页 |
| ·音叉式探针力学等效模型 | 第35-44页 |
| ·音叉式探针电学等效模型 | 第44-47页 |
| ·音叉式探针的有限元分析 | 第47-56页 |
| ·本章小结 | 第56-58页 |
| 第三章 自感应AFM 测头的开发 | 第58-76页 |
| ·测头自感应信号处理 | 第58-64页 |
| ·探针内部的微电流 | 第58-59页 |
| ·探针微电流的提取 | 第59-61页 |
| ·探针寄生电容的补偿 | 第61-63页 |
| ·测头信号的相位移动 | 第63-64页 |
| ·测头的工作模式 | 第64-72页 |
| ·测头幅度调制模式 | 第64-65页 |
| ·测头自激振荡式频率调制模式 | 第65-69页 |
| ·测头辅助跟踪振荡式频率调制模式 | 第69-72页 |
| ·测头机电耦合系数的标定 | 第72-75页 |
| ·本章小结 | 第75-76页 |
| 第四章 复合式测量系统的构建 | 第76-94页 |
| ·复合式测量系统的架构 | 第76-80页 |
| ·AFM 测头与大范围纳米定位平台的复合测量 | 第80-88页 |
| ·AFM 测量系统的工作模型 | 第80-82页 |
| ·AFM 测量系统的反馈控制环路 | 第82-88页 |
| ·AFM 与光学显微干涉系统的复合测量 | 第88-91页 |
| ·本章小结 | 第91-94页 |
| 第五章 系统性能测试及应用实验 | 第94-132页 |
| ·测量系统和测量环境 | 第94-95页 |
| ·系统噪声测试 | 第95-98页 |
| ·纳米测量机定位噪声测量 | 第95-96页 |
| ·测头的静态噪声测试 | 第96-98页 |
| ·测头进/退针实验及标定 | 第98-105页 |
| ·系统单反馈模式性能测试 | 第105-117页 |
| ·台阶标准的测量 | 第105-111页 |
| ·一维和二维栅格的测量 | 第111-117页 |
| ·系统双反馈模式性能测试 | 第117-123页 |
| ·平面样品的测试 | 第117-119页 |
| ·一维栅格的测量 | 第119-123页 |
| ·光学自由曲面的大范围测量实验 | 第123-128页 |
| ·白光干涉方法辅助定位实验 | 第128-131页 |
| ·本章小结 | 第131-132页 |
| 第六章 总结与展望 | 第132-136页 |
| 参考文献 | 第136-146页 |
| 发表论文和科研情况说明 | 第146-148页 |
| 致谢 | 第148页 |
