基于掩膜—无掩膜腐蚀的硅微谐振式加速度计关键工艺研究

致谢	第1-6页
摘要	第6-7页
Abstract	第7-14页
1 引言	第14-24页
·微机械加速度传感器	第14-16页
·谐振器式加速度传感器的研究现状	第16-23页
·体微机械加工工艺制作的谐振式加速度传感器	第16-18页
·表面微机械加工工艺制作的谐振式加速度传感器	第18-20页
·混合微机械加工工艺制作的谐振式加速度传感器	第20-22页
·SOI加工工艺制作的谐振式加速度传感器	第22-23页
·本课题研究的主要内容	第23-24页
2 碘过饱和KOH溶液的无掩膜腐蚀实验	第24-31页
·无掩膜腐蚀工艺简介	第24-25页
·无掩膜腐蚀实验	第25-26页
·硅片在不同腐蚀液中的无掩膜腐蚀特性	第26-30页
·本章总结	第30-31页
3 谐振式加速度传感器的工作原理及工艺流程	第31-38页
·谐振器的激励和检测方式	第31页
·本课题所设计的谐振式加速度计的基本结构	第31-33页
·硅微谐振式加速度传感器工作原理	第33-34页
·硅微谐振式加速度传感器的制作工艺流程	第34-37页
·本章总结	第37-38页
4 硅微谐振式加速度传感器的关键工艺研究	第38-52页
·薄膜制备与应力控制技术研究	第38-46页
·二氧化硅与氮化硅薄膜的制备	第38-40页
·薄膜应力测试技术研究	第40-45页
·薄膜应力补偿	第45-46页
·质量块在碘过饱和的KOH溶液中的凸角保护	第46-49页
·多晶硅电阻的制备	第49-50页
·金属引线的选取	第50-51页
·本章总结	第51-52页
5 总结与展望	第52-54页
参考文献	第54-58页
作者简历	第58页