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结合分子束外延和脉冲激光多光束干涉技术的空间有序InAs/GaAs(001)量子点生长的研究

摘要第1-7页
Abstract第7-14页
第一章 引言第14-32页
   ·研究背景第14-22页
     ·纳米半导体材料第14-15页
     ·半导体量子点及应用第15-16页
     ·In As/Ga As量子点制备的研究现状第16-22页
   ·论文的研究意义与研究内容第22-26页
     ·研究意义第22页
     ·研究方案第22-24页
     ·解决的问题及研究内容第24-26页
 参考文献第26-32页
第二章 分子束外延技术自组织生长In As/Ga As(001)量子点第32-50页
   ·分子束外延技术及设备第32-36页
     ·分子束外延技术简介第32-33页
     ·分子束外延设备简介第33-36页
   ·分子束外延技术自组织生长In As/Ga As(001)量子点第36-43页
     ·In As/Ga As(001)量子点的生长第36-38页
     ·生长条件对In As/Ga As(001)量子点形貌的影响第38-43页
   ·本章小结第43-44页
 参考文献第44-50页
第三章 单光束紫外纳秒脉冲激光原位辐照对In As/Ga As(001)量子点生长的影响第50-70页
   ·光致电激发诱导的原子脱附第50-52页
   ·实验光路的设计与搭建第52-56页
   ·单光束紫外纳秒脉冲激光原位辐照对In As/Ga As(001)量子点生长的影响第56-64页
     ·单光束原位辐照实验第56页
     ·紫外纳秒脉冲激光辐照对浸润层形貌的影响第56-60页
     ·紫外纳秒脉冲激光原位辐照对量子点生长的影响第60-64页
   ·本章小结第64-65页
 参考文献第65-70页
第四章 激光多光束干涉图样及光刻第70-92页
   ·激光干涉光刻技术简介第70-71页
   ·激光多光束干涉图样第71-79页
     ·激光多光束干涉的原理第71-73页
     ·激光多光束干涉图样的影响因素第73-79页
   ·脉冲激光多光束干涉烧蚀第79-85页
     ·激光多光束干涉烧蚀实验第80-81页
     ·实验结果及分析第81-85页
   ·本章小结第85-87页
 参考文献第87-92页
第五章 紫外纳秒脉冲激光干涉原位辐照调控生长空间有序In As/Ga As(001)量子点第92-114页
   ·引言第92-93页
   ·脉冲激光四光束干涉原位辐照实验第93-94页
   ·脉冲激光干涉原位辐照对样品表面In Ga As互混层形貌的影响第94-103页
     ·激光束截面的能量分布第94-95页
     ·实验结果第95-98页
     ·讨论与分析第98-103页
   ·紫外纳秒脉冲激光干涉原位辐照调控生长空间有序In As/Ga As (001)量子点第103-109页
     ·实验结果第103-105页
     ·讨论与分析第105-109页
   ·本章小结第109-110页
 参考文献第110-114页
第六章 总结与展望第114-117页
   ·研究总结第114-116页
   ·创新点第116页
   ·工作展望第116-117页
科研成果第117-118页
致谢第118-119页

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