基于PSD的光电位移测量系统设计
| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-8页 |
| 第1章 绪论 | 第8-12页 |
| ·课题来源及研究目的和意义 | 第8-9页 |
| ·国内外研究现状及分析 | 第9-11页 |
| ·PSD器件的发展和研究现状 | 第9-10页 |
| ·PSD的应用现状 | 第10-11页 |
| ·论文主要内容 | 第11-12页 |
| 第2章 基于PSD的位移测量系统总体方案设计 | 第12-22页 |
| ·两种探测结构分析 | 第13-17页 |
| ·斜射式探测结构分析 | 第13-15页 |
| ·直射式探测结构分析 | 第15-17页 |
| ·PSD及其基本特性 | 第17-18页 |
| ·位移测量方案设计 | 第18-21页 |
| ·本章小结 | 第21-22页 |
| 第3章 测量系统各模块设计 | 第22-45页 |
| ·PSD特性参数及选型 | 第22-26页 |
| ·PSD的主要性能参数分析 | 第22-24页 |
| ·PSD的选型 | 第24页 |
| ·影响PSD定位精度的因素 | 第24-26页 |
| ·PSD信号处理电路设计 | 第26-34页 |
| ·直流处理电路设计 | 第26-32页 |
| ·脉冲处理电路设计 | 第32-34页 |
| ·光源的选择及驱动控制 | 第34-40页 |
| ·光源对测量精度的影响 | 第34-35页 |
| ·光源的选择及特性 | 第35-36页 |
| ·接收光能分析 | 第36-37页 |
| ·光斑大小对定位精度的影响分析 | 第37-38页 |
| ·光源驱动电路设计 | 第38-40页 |
| ·测量系统机械结构设计 | 第40-44页 |
| ·本章小结 | 第44-45页 |
| 第4章 数据采集处理程序设计 | 第45-51页 |
| ·PCI2005 基本性能 | 第45-46页 |
| ·数据采集处理程序设计流程 | 第46-47页 |
| ·基于LabVIEW的应用软件设计 | 第47-49页 |
| ·LabVIEW及其特点 | 第47-48页 |
| ·LabVIEW平台下驱动程序接口 | 第48-49页 |
| ·应用程序开发 | 第49页 |
| ·本章小结 | 第49-51页 |
| 第5章 实验结果与分析 | 第51-63页 |
| ·位移测量的系列测试实验 | 第51-57页 |
| ·位移标定测试实验 | 第51-53页 |
| ·稳定性测试实验 | 第53-54页 |
| ·背景光的影响测试 | 第54-56页 |
| ·光斑大小的影响测试实验 | 第56-57页 |
| ·分辨力及测量频率分析 | 第57-58页 |
| ·影响因素分析 | 第58-62页 |
| ·本章小结 | 第62-63页 |
| 结论 | 第63-64页 |
| 参考文献 | 第64-69页 |
| 致谢 | 第69页 |
