致谢 | 第1-6页 |
摘要 | 第6-8页 |
ABSTRACT | 第8-12页 |
第一章 绪论 | 第12-22页 |
·题目研究背景 | 第12-13页 |
·波前位相检测技术 | 第13-21页 |
·哈特曼-夏克波前检测系统 | 第13-14页 |
·曲率波前传感器 | 第14-15页 |
·干涉波前传感技术 | 第15-21页 |
·主要研究内容 | 第21-22页 |
第二章 径向剪切干涉仪测量原理 | 第22-40页 |
·波面剪切干涉的基本类型 | 第22-23页 |
·径向剪切干涉测量原理 | 第23-30页 |
·光学原理 | 第23-25页 |
·剪切波面特征 | 第25-26页 |
·波面复原(重构) | 第26-30页 |
·径向剪切干涉的结构形式 | 第30-35页 |
·单通道径向剪切干涉仪 | 第30-34页 |
·双通道径向剪切干涉仪 | 第34-35页 |
·径向剪切干涉国内外研究现状 | 第35-39页 |
·本章小结 | 第39-40页 |
第三章 径向剪切干涉波面重建精度相关因素研究 | 第40-64页 |
·径向剪切中波面像差研究 | 第40-46页 |
·波面像差赛德尔系数 | 第41-42页 |
·Zernike多项式系数 | 第42-44页 |
·Zernike系数和赛德尔像差系数的转换 | 第44-46页 |
·Zernike多项式拟合精度研究 | 第46-49页 |
·径向剪切比与波面拟合精度研究 | 第49-58页 |
·迭代次数与波面拟合精度研究 | 第58-60页 |
·常见波面在Zernike多项式不同阶数下拟合精度研究 | 第60-62页 |
·本章小结 | 第62-64页 |
第四章 径向剪切干涉仪光学系统设计 | 第64-90页 |
·扩束系统的光学设计 | 第65-76页 |
·物镜L1设计结果 | 第68-72页 |
·物镜L2设计结果 | 第72-76页 |
·缩束系统的光学设计 | 第76-87页 |
·物镜L3设计结果 | 第79-83页 |
·物镜L4设计结果 | 第83-87页 |
·光能量等比设计 | 第87-88页 |
·本章小结 | 第88-90页 |
第五章 总结与展望 | 第90-92页 |
参考文献 | 第92-96页 |
作者简介及在学期间发表的学术论文与研究成果 | 第96页 |