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单靶磁控溅射制备CIGS太阳能电池材料的研究

摘要第1-8页
Abstract第8-13页
第一章 绪论第13-33页
   ·引言第13-15页
   ·太阳电池的简介第15-27页
   ·本论文的研究意义和主要内容第27-29页
 参考文献第29-33页
第二章 单靶制备CIGS吸收层的介绍第33-50页
   ·CIGS薄膜电池的结构第33-36页
   ·CIGS薄膜电池的制备方法第36-39页
   ·单靶制备CIGS太阳能电池的介绍第39-41页
   ·CIGS太阳能电池的测试表征方法第41-46页
   ·本章小结第46-47页
 参考文献第47-50页
第三章 CIGS层薄膜的制备第50-72页
   ·磁控溅射的原理第50-52页
   ·衬底的选择与清洗第52页
   ·Mo电极的制备第52-53页
   ·一步法制备P型CIGS层的研究第53-67页
   ·本章小结第67-69页
 参考文献第69-72页
第四章 AZO薄膜的制备及性质研究第72-87页
   ·AZO的表征方法第72-74页
   ·磁控溅射制备AZO的工艺研究第74-83页
   ·本章小结第83-84页
 参考文献第84-87页
第五章 CIGS太阳能电池的器件研究第87-100页
   ·磁控溅射与化学水浴法制备CdS层的对比分析第87-90页
   ·CIGS薄膜电池的制备第90-92页
   ·CIGS太阳能电池的效率分析第92-96页
   ·本章小结第96-98页
 参考文献第98-100页
第六章 总结和展望第100-103页
   ·总结第100-102页
   ·展望第102-103页
附录Ⅰ 攻读博士学位期间科研成果清单第103-104页
附录Ⅱ 致谢第104页

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