| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-9页 |
| 第1章 绪论 | 第9-24页 |
| ·铁电体简介 | 第9-10页 |
| ·铁电薄膜材料 | 第10-13页 |
| ·铁电薄膜材料概述 | 第10-12页 |
| ·应用于FeRAM的几种常用铁电薄膜材料 | 第12-13页 |
| ·铁电薄膜中电畴的介绍 | 第13-16页 |
| ·电畴的研究意义 | 第16-17页 |
| ·电畴的研究方法 | 第17-20页 |
| ·研究方法介绍 | 第17-18页 |
| ·PFM技术及发展现状 | 第18-20页 |
| ·铁电薄膜中电畴的PFM研究现状 | 第20-23页 |
| ·本论文的选题依据和主要内容 | 第23-24页 |
| 第2章 BNT薄膜的制备、电畴结构及其翻转 | 第24-36页 |
| ·引言 | 第24页 |
| ·BNT薄膜的sol-gel法制备及其电畴的观测 | 第24-30页 |
| ·Sol-gel法制备BNT薄膜的过程 | 第24-26页 |
| ·BNT薄膜的微观结构及性能表征 | 第26-27页 |
| ·BNT薄膜的电畴结构及其翻转 | 第27-30页 |
| ·BNT薄膜的PLD法制备及其电畴的观测 | 第30-35页 |
| ·PLD法制备BNT薄膜的过程 | 第30页 |
| ·BNT薄膜的微观结构及性能表征 | 第30-32页 |
| ·BNT薄膜的电畴结构及其翻转 | 第32-35页 |
| ·小结 | 第35-36页 |
| 第3章 退火温度对BNT薄膜电畴结构及其翻转的影响 | 第36-43页 |
| ·引言 | 第36页 |
| ·不同退火温度的BNT薄膜的微观结构及性能表征 | 第36-38页 |
| ·不同退火温度的BNT薄膜的电畴结构及其翻转 | 第38-42页 |
| ·小结 | 第42-43页 |
| 第4章 退火气氛对BNT薄膜电畴结构及其翻转的影响 | 第43-51页 |
| ·引言 | 第43页 |
| ·不同退火气氛的BNT薄膜的微观结构及性能表征 | 第43-46页 |
| ·不同退火气氛的BNT薄膜的电畴结构及其翻转 | 第46-49页 |
| ·小结 | 第49-51页 |
| 第5章 总结与展望 | 第51-52页 |
| ·论文总结 | 第51页 |
| ·研究展望 | 第51-52页 |
| 参考文献 | 第52-60页 |
| 致谢 | 第60-61页 |
| 攻读硕士学位期间的论文发表情况 | 第61页 |