垂直扫描白光干涉测量关键技术的研究及应用
| 摘要 | 第1-5页 |
| ABSTRACT | 第5-8页 |
| 1 绪论 | 第8-14页 |
| ·课题来源 | 第8页 |
| ·课题的目的和意义 | 第8页 |
| ·表面形貌测量的发展概况 | 第8-11页 |
| ·国内外研究现状 | 第11-13页 |
| ·本文的主要研究内容 | 第13-14页 |
| 2 系统原理及总体设计 | 第14-22页 |
| ·白光干涉测量原理 | 第14-15页 |
| ·仪器总体结构设计 | 第15-21页 |
| ·本章小结 | 第21-22页 |
| 3 光源干涉特性分析与优化 | 第22-34页 |
| ·白光干涉信号的仿真分析 | 第22-27页 |
| ·光源干涉特性比较与选择 | 第27-33页 |
| ·本章小结 | 第33-34页 |
| 4 粗精两级驱动控制系统 | 第34-47页 |
| ·衍射光栅干涉位移计量 | 第34-36页 |
| ·粗精两级驱动控制 | 第36-41页 |
| ·实验测试 | 第41-46页 |
| ·本章小结 | 第46-47页 |
| 5 三维形貌恢复算法 | 第47-60页 |
| ·三维形貌恢复算法 | 第47-50页 |
| ·部分算法仿真 | 第50-51页 |
| ·改进型包络曲线拟合法 | 第51-59页 |
| ·本章小结 | 第59-60页 |
| 6 总结与展望 | 第60-62页 |
| ·全文总结 | 第60页 |
| ·展望及今后工作建议 | 第60-62页 |
| 致谢 | 第62-63页 |
| 参考文献 | 第63-66页 |
| 附录 攻读学位期间取得的研究成果 | 第66页 |
