| 摘要 | 第1-6页 |
| Abstract | 第6-10页 |
| 1 绪论 | 第10-27页 |
| ·太阳能电池的发展历程 | 第11页 |
| ·太阳能电池工作原理 | 第11-14页 |
| ·太阳能电池的电学模型及其性能参数 | 第14-16页 |
| ·太阳能电池的分类 | 第16-19页 |
| ·本论文研究目的和意义 | 第19-26页 |
| ·本章小结 | 第26-27页 |
| 2 锡硫化合物薄膜的制备工艺 | 第27-39页 |
| ·薄膜形成机理与过程 | 第28-31页 |
| ·等离子体增强化学气相沉积法(PECVD)简介 | 第31-32页 |
| ·PECVD装置 | 第32-33页 |
| ·本论文PECVD实验装置的设计 | 第33-35页 |
| ·实验结果的表征 | 第35-38页 |
| ·本章小结 | 第38-39页 |
| 3 硫化亚锡薄膜的等离子体增强化学气相沉积法的制备与表征 | 第39-65页 |
| ·实验部分 | 第40-44页 |
| ·实验结果与讨论 | 第44-63页 |
| ·本章小结 | 第63-65页 |
| 4 硫化亚锡薄膜的等离子体氮掺杂工艺研究 | 第65-74页 |
| ·实验部分 | 第66页 |
| ·实验结果分析 | 第66-73页 |
| ·本章小结 | 第73-74页 |
| 5 二硫化锡薄膜的等离子体增强化学气相沉积法可控制备工艺研究 | 第74-87页 |
| ·实验过程 | 第75-76页 |
| ·实验结果分析与讨论 | 第76-86页 |
| ·本章小结 | 第86-87页 |
| 6 二氧化钛复合锡硫化合物薄膜异质结的制备及其光伏特性研究 | 第87-99页 |
| ·实验过程 | 第89-90页 |
| ·实验结果分析 | 第90-97页 |
| ·本章小结 | 第97-99页 |
| 7 全文总结 | 第99-101页 |
| 致谢 | 第101-102页 |
| 参考文献 | 第102-114页 |
| 附录Ⅰ 博士期间发表文章清单 | 第114-115页 |
| 附录Ⅱ 博士期间申请专利清单 | 第115页 |
