| 摘要 | 第1-6页 |
| ABSTRACT | 第6-10页 |
| 第一章 绪论 | 第10-15页 |
| ·MMIC 技术概述 | 第10-11页 |
| ·国外 MMIC 发展动态 | 第11-13页 |
| ·国内 MMIC 发展情况 | 第13页 |
| ·矢量调制器概述 | 第13-14页 |
| ·本论文的研究内容 | 第14-15页 |
| 第二章 MMIC 工艺和器件模型 | 第15-30页 |
| ·微波有源器件 | 第15-20页 |
| ·GaAs MESFET 器件 | 第15-18页 |
| ·GaAs HEMT/PHEMT 器件 | 第18-20页 |
| ·MMIC 设计方法 | 第20-22页 |
| ·MMIC 无源器件 | 第22-26页 |
| ·电阻 | 第22-23页 |
| ·电容 | 第23-24页 |
| ·电感 | 第24页 |
| ·通孔和接地 | 第24-25页 |
| ·传输线 | 第25-26页 |
| ·MMIC 工艺介绍 | 第26-30页 |
| ·外延有原层 | 第26页 |
| ·制备欧姆接触 | 第26-27页 |
| ·硼离子注入隔离 | 第27页 |
| ·制备 T 型金属栅接触 | 第27页 |
| ·制备金属薄膜电阻 | 第27-28页 |
| ·制备电容下电极及生长电容介质 | 第28页 |
| ·空气桥及第二层厚金属的制备 | 第28-29页 |
| ·制备背面通孔和划片道 | 第29-30页 |
| 第三章 矢量调制器的原理分析 | 第30-44页 |
| ·矢量调制器的分类 | 第30-34页 |
| ·数字矢量调制器 | 第30-31页 |
| ·阻抗变换型的矢量调制器 | 第31页 |
| ·模拟移相器和放大器级联形式的矢量调制器 | 第31-32页 |
| ·利用差分放大器形式的矢量调制器 | 第32-33页 |
| ·象限平移形式的矢量调制器 | 第33页 |
| ·I-Q 矢量调制器 | 第33-34页 |
| ·微波/毫米波平衡 I-Q 矢量调制器工作原理分析 | 第34-44页 |
| ·冷赝高电子迁移率晶体管 | 第35-36页 |
| ·基本双相反射型调制器 | 第36-38页 |
| ·推挽（双相）调制器 | 第38-41页 |
| ·平衡 I-Q 矢量调制器 | 第41-44页 |
| 第四章 矢量调制器芯片的设计 | 第44-56页 |
| ·W 波段平衡 I-Q 矢量调制器的设计 | 第44-53页 |
| ·W 波段 Lange 耦合器设计 | 第44-46页 |
| ·基本反射式双相调制器设计 | 第46-47页 |
| ·推挽双相调制器设计 | 第47-50页 |
| ·同相功分器设计 | 第50-51页 |
| ·平衡 I-Q 矢量调制器整体仿真设计 | 第51-53页 |
| ·Ka 波段平衡 I-Q 矢量调制器的设计 | 第53-54页 |
| ·平衡 I-Q 矢量调制器性能优化 | 第54-56页 |
| 第五章 测试和结果分析 | 第56-63页 |
| ·矢量调制器自动化探针测试平台的搭建 | 第56-58页 |
| ·推挽双相调制器芯片测试 | 第58-63页 |
| ·芯片的探针台测试 | 第58-60页 |
| ·芯片的模块测试 | 第60-63页 |
| 第六章 总结与展望 | 第63-64页 |
| 致谢 | 第64-65页 |
| 参考文献 | 第65-68页 |