| 摘要 | 第1-10页 |
| ABSTRACT | 第10-13页 |
| 第一章 绪论 | 第13-30页 |
| ·多铁材料 | 第13-16页 |
| ·铁电性 | 第13-15页 |
| ·铁磁性 | 第15-16页 |
| ·压电材料 | 第16页 |
| ·铁酸铋（BiFe0_3） | 第16-20页 |
| ·BiFe0_3 研究进展 | 第18页 |
| ·BiFe0_3 在应用方面需要解决的问题 | 第18-20页 |
| ·掺杂及制备工艺对BiFe0_3 性能的影响 | 第20-27页 |
| ·元素掺杂对BiFe0_3 性能的影响 | 第20-26页 |
| ·制备工艺对BiFe0_3 性能的影响 | 第26-27页 |
| ·本课题的研究目的及意义 | 第27-28页 |
| ·本课题的研究工作 | 第28-30页 |
| 第二章 实验方案设计与研究方法 | 第30-36页 |
| ·实验原料与设备 | 第30-31页 |
| ·BiFe0_3 薄膜的制备 | 第31-33页 |
| ·BiFe0_3 前驱体溶液的制备 | 第31页 |
| ·铁电薄膜的制备 | 第31-33页 |
| ·薄膜结构及性能表征方法 | 第33-36页 |
| ·X 射线衍射 | 第33页 |
| ·原子力显微镜（AFM） | 第33-34页 |
| ·扫描电子显微镜（SEM） | 第34页 |
| ·铁电性能测试 | 第34-36页 |
| 第三章 Mn 掺杂对Bi_(0.86)Sm_(0.14)Fe0_3薄膜铁电和压电性能的影响 | 第36-48页 |
| ·Mn 掺量对BSFO 薄膜结构的影响 | 第36页 |
| ·Mn 掺量对BSFO 薄膜漏电的影响 | 第36-38页 |
| ·Mn 掺量对BSFO 薄膜在5KHZ 频率下测得的电滞回线的影响 | 第38-39页 |
| ·Mn 掺量对BSFO 薄膜抗击穿性能的影响 | 第39-41页 |
| ·Mn 掺量对BSFO 薄膜保持性能的影响 | 第41-43页 |
| ·Mn 掺量对BSFO 薄膜疲劳性能的影响 | 第43-44页 |
| ·Mn 掺量对BSFO 薄膜压电性能的影响 | 第44-46页 |
| ·小结 | 第46-48页 |
| 第四章 单层厚度对BiFe_(0.95)Mn_(0.05)O3薄膜结构与铁电性能的影响 | 第48-56页 |
| ·单层厚度对BFMO 薄膜结构的影响 | 第48-49页 |
| ·单层厚度对BFMO 薄膜生长模式影响 | 第49-50页 |
| ·单层厚度对BFMO 的漏电密度的影响 | 第50-51页 |
| ·单层厚度对BFMO 的电滞回线的影响 | 第51-53页 |
| ·单层厚度对BFMO 薄膜的保持性能的影响 | 第53-54页 |
| ·小结 | 第54-56页 |
| 第五章 退火温度对不同单层厚度的BFMO 薄膜结构与性能的影响 | 第56-67页 |
| ·退火温度对不同单层厚度的BFMO 薄膜的结构的影响 | 第56-60页 |
| ·退火温度对单层厚度为25 nm 的BFMO 薄膜的漏电影响 | 第60-61页 |
| ·退火温度对不同单层厚度的BFMO 薄膜电滞回线的影响 | 第61-64页 |
| ·退火温度对单层厚度为25 nm 的BFMO 薄膜保持性能的影响 | 第64-66页 |
| ·小结 | 第66-67页 |
| 第六章 结论与展望 | 第67-69页 |
| ·主要结论 | 第67-68页 |
| ·主要创新点 | 第68页 |
| ·工作展望 | 第68-69页 |
| 参考文献 | 第69-75页 |
| 致谢 | 第75-76页 |
| 附录 | 第76页 |
| 一、在校期间发表的学术论文 | 第76页 |
| 二、在校期间参加的项目 | 第76页 |
| 三、申请的专利 | 第76页 |
