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基于PSD方法的KDP晶体超光滑表面表征技术研究

摘要第1-5页
Abstract第5-8页
第1章 绪论第8-15页
   ·课题来源及研究意义第8-9页
   ·KDP晶体在惯性约束核聚变中的应用第9-10页
   ·国内外表面分析方法的研究现状第10-14页
     ·三维表征参数第11页
     ·小波方法第11-12页
     ·功率谱密度第12-14页
   ·本课题的主要研究内容第14-15页
第2章 表面轮廓功率谱密度的建模分析第15-27页
   ·功率谱密度的相关概念第15-16页
     ·表面轮廓函数第15页
     ·表面轮廓自相关函数第15-16页
     ·双向反射分布函数第16页
   ·表面轮廓功率谱密度第16-19页
     ·功率谱密度的定义第16-17页
     ·微观轮廓PSD第17-18页
     ·波面PSD第18-19页
     ·微观轮廓PSD和波面PSD的比较第19页
   ·功率谱密度的量纲单位及物理内涵第19-22页
     ·量纲单位第19页
     ·功率谱密度与均方根值(RMS)之间关系第19-20页
     ·PSD曲线中包含的信息第20-22页
   ·PSD的求取第22-25页
     ·非平均PSD(unaveraged power spectral density)第23页
     ·平均PSD(averaged power spectral density)第23-24页
     ·一维PSD与二维PSD的计算关系第24-25页
   ·国际标准中PSD测量结果的评价第25-26页
   ·本章小结第26-27页
第3章 KDP晶体超精密车削表面功率谱密度表征第27-40页
   ·功率谱密度表征的程序设计第27-31页
     ·功率谱密度表征的程序设计框图第27页
     ·二维连续小波变换方法介绍第27-31页
   ·KDP晶体超精密车削表面功率谱密度表征第31-39页
     ·功率谱密度与传统表征方法的比较第31-33页
     ·不同取样范围的功率谱密度对比第33-35页
     ·不同取样周期的功率谱密度对比第35-36页
     ·表面空间频率信息的提取及分析第36-38页
     ·特定空间频率表面对应形貌的还原第38-39页
   ·本章小结第39-40页
第4章 基于PSD分析的KDP晶体超精密车削表面实验研究第40-51页
   ·实验条件第40-42页
     ·超精密车削实验环境及条件第40-42页
   ·KDP晶体超精密车削中切削用量的影响第42-49页
     ·切削深度ap的影响分析第42-45页
     ·进给量f的影响分析第45-46页
     ·主轴转速n的影响分析第46-49页
   ·本章小结第49-51页
结论第51-52页
参考文献第52-57页
致谢第57页

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