高功率垂直腔面发射激光器的偏振特性
摘要 | 第1-7页 |
Abstract | 第7-12页 |
第1章 绪论 | 第12-37页 |
·垂直腔面发射激光器(VCSEL)的介绍 | 第12-19页 |
·VCSEL的概念简介 | 第12-15页 |
·高功率VCSEL的发展现状 | 第15-19页 |
·高功率VCSEL偏振控制的研究背景 | 第19-22页 |
·VCSEL的偏振控制实施方案 | 第22-35页 |
·本论文的研究工作 | 第35-37页 |
第2章 VCSEL的偏振理论分析 | 第37-71页 |
·圆柱状VCSEL的偏振理论分析 | 第37-53页 |
·圆柱状VCSEL的横模行为 | 第37-45页 |
·圆柱状VCSEL的偏振模式 | 第45-53页 |
·矩形VCSEL的偏振及输出特性模拟 | 第53-63页 |
·矩形VCSEL的偏振 | 第53-60页 |
·矩形VCSEL的输出特性模拟 | 第60-63页 |
·浅面浮雕VCSEL的理论分析 | 第63-69页 |
·DBR的反射率 | 第64-67页 |
·浮雕结构VCSEL的阈值增益 | 第67-68页 |
·浮雕结构VCSEL的阈值电流和光功率 | 第68-69页 |
·本章小结 | 第69-71页 |
第3章 偏振结构VCSEL制备工艺研究 | 第71-97页 |
·VCSEL关键技术研究 | 第71-79页 |
·材料外延生长 | 第71-74页 |
·清洗 | 第74-75页 |
·光刻 | 第75-76页 |
·湿法刻蚀 | 第76-77页 |
·湿法氧化 | 第77-78页 |
·欧姆接触电极 | 第78-79页 |
·底发射矩形VCSEL制备工艺 | 第79-84页 |
·顶发射矩形VCSEL制备工艺 | 第84-89页 |
·浅面浮雕结构VCSEL的制备工艺 | 第89-95页 |
·本章小结 | 第95-97页 |
第4章 偏振结构VCSEL测试结果与分析 | 第97-123页 |
·底发射矩形VCSEL性能测试及分析 | 第98-108页 |
·底发射矩形VCSEL的输出性能 | 第98-103页 |
·底发射矩形VCSEL的偏振特性 | 第103-108页 |
·顶发射矩形VCSEL性能测试及分析 | 第108-115页 |
·顶发射矩形VCSEL的输出性能 | 第108-113页 |
·顶发射矩形VCSEL的偏振特性 | 第113-115页 |
·浅面浮雕结构VCSEL性能测试及分析 | 第115-121页 |
·本章小结 | 第121-123页 |
第5章 总结与展望 | 第123-125页 |
参考文献 | 第125-135页 |
在学期间学术成果情况 | 第135-137页 |
指导教师及作者简介 | 第137-138页 |
致谢 | 第138页 |