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高功率垂直腔面发射激光器的偏振特性

摘要第1-7页
Abstract第7-12页
第1章 绪论第12-37页
   ·垂直腔面发射激光器(VCSEL)的介绍第12-19页
     ·VCSEL的概念简介第12-15页
     ·高功率VCSEL的发展现状第15-19页
   ·高功率VCSEL偏振控制的研究背景第19-22页
   ·VCSEL的偏振控制实施方案第22-35页
   ·本论文的研究工作第35-37页
第2章 VCSEL的偏振理论分析第37-71页
   ·圆柱状VCSEL的偏振理论分析第37-53页
     ·圆柱状VCSEL的横模行为第37-45页
     ·圆柱状VCSEL的偏振模式第45-53页
   ·矩形VCSEL的偏振及输出特性模拟第53-63页
     ·矩形VCSEL的偏振第53-60页
     ·矩形VCSEL的输出特性模拟第60-63页
   ·浅面浮雕VCSEL的理论分析第63-69页
     ·DBR的反射率第64-67页
     ·浮雕结构VCSEL的阈值增益第67-68页
     ·浮雕结构VCSEL的阈值电流和光功率第68-69页
   ·本章小结第69-71页
第3章 偏振结构VCSEL制备工艺研究第71-97页
   ·VCSEL关键技术研究第71-79页
     ·材料外延生长第71-74页
     ·清洗第74-75页
     ·光刻第75-76页
     ·湿法刻蚀第76-77页
     ·湿法氧化第77-78页
     ·欧姆接触电极第78-79页
   ·底发射矩形VCSEL制备工艺第79-84页
   ·顶发射矩形VCSEL制备工艺第84-89页
   ·浅面浮雕结构VCSEL的制备工艺第89-95页
   ·本章小结第95-97页
第4章 偏振结构VCSEL测试结果与分析第97-123页
   ·底发射矩形VCSEL性能测试及分析第98-108页
     ·底发射矩形VCSEL的输出性能第98-103页
     ·底发射矩形VCSEL的偏振特性第103-108页
   ·顶发射矩形VCSEL性能测试及分析第108-115页
     ·顶发射矩形VCSEL的输出性能第108-113页
     ·顶发射矩形VCSEL的偏振特性第113-115页
   ·浅面浮雕结构VCSEL性能测试及分析第115-121页
   ·本章小结第121-123页
第5章 总结与展望第123-125页
参考文献第125-135页
在学期间学术成果情况第135-137页
指导教师及作者简介第137-138页
致谢第138页

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