电弧离子镀TiN薄膜的制备及其特性研究
| 摘要 | 第1-7页 |
| Abstract | 第7-9页 |
| 第一章 绪论 | 第9-19页 |
| ·引言 | 第9-10页 |
| ·物理气相沉积(PVD) | 第10-14页 |
| ·物理气相沉积(PVD)概述 | 第10页 |
| ·PVD薄膜技术的分类 | 第10-13页 |
| ·PVD技术的发展趋势 | 第13-14页 |
| ·氮化物薄膜的研究现状 | 第14-17页 |
| ·氮化物薄膜的制备方法 | 第14页 |
| ·氮化物薄膜的应用领域 | 第14-16页 |
| ·氮化物薄膜的发展趋势 | 第16-17页 |
| ·本研究的目的、意义和内容 | 第17-19页 |
| ·研究的目的和意义 | 第17-18页 |
| ·研究的内容 | 第18-19页 |
| 第二章 实验方法和检测手段 | 第19-27页 |
| ·实验装置及步骤 | 第19-20页 |
| ·实验装置 | 第19页 |
| ·样品的准备与基片清洗 | 第19-20页 |
| ·基本工艺步骤 | 第20页 |
| ·薄膜的性能表征 | 第20-22页 |
| ·扫描电镜(SEM)及能谱仪(EDS) | 第20页 |
| ·X射线衍射(XRD) | 第20页 |
| ·X射线光电子能谱(XPS) | 第20页 |
| ·薄膜的厚度和显微硬度 | 第20-21页 |
| ·薄膜的退火性能研究 | 第21页 |
| ·摩擦学性能测试 | 第21-22页 |
| ·影响薄膜结构和性能的主要工艺参数 | 第22-26页 |
| ·氮气流量 | 第22-23页 |
| ·负偏压 | 第23-25页 |
| ·中间过渡层 | 第25-26页 |
| ·最佳工艺参数确定 | 第26页 |
| ·本章小结 | 第26-27页 |
| 第三章 电弧离子镀TiN薄膜的厚膜化研究 | 第27-32页 |
| ·退火对薄膜晶体结构的影响 | 第27-28页 |
| ·退火对薄膜表面形貌的影响 | 第28-29页 |
| ·退火对薄膜硬度和内应力的影响 | 第29-30页 |
| ·退火对薄膜附着力的影响 | 第30-31页 |
| ·本章小结 | 第31-32页 |
| 第四章 电弧离子镀TiN薄膜的摩擦学特性研究 | 第32-44页 |
| ·速率对摩擦性能的影响 | 第32-34页 |
| ·基体 | 第32页 |
| ·TiN薄膜 | 第32-33页 |
| ·TiN薄膜在两种介质中的摩擦行为比较 | 第33-34页 |
| ·法向载荷对摩擦性能的影响 | 第34-35页 |
| ·基体 | 第34页 |
| ·TiN薄膜 | 第34-35页 |
| ·TiN薄膜在两种介质中的的摩擦行为比较 | 第35页 |
| ·磨损距离对摩擦性能的影响 | 第35-36页 |
| ·磨损分析 | 第36-42页 |
| ·磨痕形貌 | 第36-40页 |
| ·磨痕XPS分析 | 第40-42页 |
| ·磨痕深度分析 | 第42页 |
| ·本章小结 | 第42-44页 |
| 第五章 电弧离子镀TiN薄膜刀具的切削性能研究 | 第44-47页 |
| ·刀具寿命 | 第44页 |
| ·刀具磨损量 | 第44-45页 |
| ·刀具磨损形貌 | 第45-46页 |
| ·本章小结 | 第46-47页 |
| 第六章 结论 | 第47-49页 |
| ·主要结论 | 第47-48页 |
| ·对今后工作的展望 | 第48-49页 |
| 参考文献 | 第49-54页 |
| 致谢 | 第54-55页 |
| 攻读硕士学位期间发表的论文及参加的课题 | 第55页 |
