| 摘要 | 第1-9页 |
| Abstract | 第9-10页 |
| 第一章 绪论 | 第10-13页 |
| ·研究背景 | 第10-11页 |
| ·国内外研究现状 | 第11-12页 |
| ·本文主要工作 | 第12-13页 |
| 第二章 RF MEMS开关的介绍和分类 | 第13-23页 |
| ·RF频谱 | 第13页 |
| ·RF MEMS开关参数 | 第13-14页 |
| ·RF MEMS开关的基本结构和工作原理 | 第14-15页 |
| ·RF MEMS开关的分类 | 第15-21页 |
| ·串联式与分流式 | 第15-18页 |
| ·Out-of-plane式和In-plane式 | 第18-21页 |
| ·本章小结 | 第21-23页 |
| 第三章 电容式RF MEMS开关的介质薄膜 | 第23-41页 |
| ·介质层薄膜的功能及失效形式分析 | 第23-25页 |
| ·氮化硅薄膜的制备设备 | 第25-26页 |
| ·C-V测试 | 第26-40页 |
| ·MIS结构的样品制备 | 第26-27页 |
| ·C-V测试平台 | 第27-28页 |
| ·C-V测试原理 | 第28-31页 |
| ·C-V测试样品及结果 | 第31-40页 |
| ·本章小结 | 第40-41页 |
| 第四章 阵列式激励电极的电容RF MEMS开关设计 | 第41-51页 |
| ·经典改进方法 | 第41-45页 |
| ·阵列式激励电极RF MEMS开关的设计 | 第45-50页 |
| ·阵列式激励电极的设计 | 第46-48页 |
| ·阵列式激励电极RF MEMS开关的初始结构尺寸 | 第48-50页 |
| ·本章小结 | 第50-51页 |
| 第五章 开关的有限元模拟分析及结构改进 | 第51-75页 |
| ·ANSYS有限元分析流程 | 第51-55页 |
| ·静态分析 | 第55-68页 |
| ·矩形结构的驱动电压模拟分析 | 第55-57页 |
| ·单边矩形的阵列电极的驱动电压模拟分析 | 第57-59页 |
| ·固支形结构阵列电极的驱动电压模拟分析 | 第59-61页 |
| ·中部鹤腿形结构阵列电极的驱动电压模拟分析 | 第61-63页 |
| ·开关单边阵列电极的完整结构驱动电压模拟分析 | 第63-66页 |
| ·完整开关结构的驱动电压模拟分析 | 第66-68页 |
| ·模态分析 | 第68-70页 |
| ·谐振分析 | 第70-72页 |
| ·空气阻尼比的估算 | 第70-71页 |
| ·谐振模拟 | 第71-72页 |
| ·瞬态分析 | 第72-73页 |
| ·本章小结 | 第73-75页 |
| 第六章 总结与展望 | 第75-77页 |
| ·本文总结 | 第75页 |
| ·工作展望 | 第75-77页 |
| 参考文献 | 第77-81页 |
| 发表论文 | 第81-82页 |
| 致谢 | 第82页 |