| 摘要 | 第1-6页 |
| ABSTRACT | 第6-11页 |
| 1 绪论 | 第11-39页 |
| ·铁电体的物理特征 | 第11-21页 |
| ·铁电性的产生机制 | 第11-16页 |
| ·铁电体的相变 | 第16-18页 |
| ·铁电畴 | 第18-20页 |
| ·电滞回线 | 第20-21页 |
| ·热释电效应 | 第21页 |
| ·压电效应 | 第21页 |
| ·铁电材料的研究进展 | 第21-22页 |
| ·铁电薄膜的制备、表征及应用 | 第22-27页 |
| ·铁电薄膜的制备技术 | 第23-25页 |
| ·铁电薄膜的表征 | 第25-26页 |
| ·铁电薄膜的应用 | 第26-27页 |
| ·相控阵天线铁电移相器 | 第27-32页 |
| ·高性能低成本铁电移相器 | 第27-30页 |
| ·移相器对铁电材料的性能要求 | 第30-32页 |
| ·移相器用铁电薄膜的研究现状 | 第32-37页 |
| ·(Ba,Sr)TiO_3 薄膜 | 第32-35页 |
| ·(Pb_xSr_(1-x))TiO_3 薄膜 | 第35-37页 |
| ·本文的研究目的和主要内容 | 第37-39页 |
| 2 铁电薄膜移相器及可调谐铁电介质的理论分析 | 第39-53页 |
| ·铁电移相器的基本原理 | 第39-43页 |
| ·铁电薄膜移相器的原理与设计 | 第43-49页 |
| ·可调谐铁电介质的材料设计 | 第49-52页 |
| ·本章小结 | 第52-53页 |
| 3 BPST 陶瓷的制备及性能研究 | 第53-76页 |
| ·BPST 陶瓷的制备 | 第53-56页 |
| ·工艺流程 | 第53-54页 |
| ·烧结温度制度的确定 | 第54-56页 |
| ·BPST 陶瓷的微结构分析 | 第56-65页 |
| ·Ba_(0.7-x)Pb_xSr_(0.3)TiO_3 陶瓷 | 第56-59页 |
| ·Ba_(0.6-x)Pb_xSr_(0.4)TiO_3 陶瓷 | 第59-61页 |
| ·Ba_(0.5-x)Pb_xSr_(0.5)TiO_3 陶瓷 | 第61-63页 |
| ·Ba_(0.4-x)Pb_xSr_(0.6)TiO_3 陶瓷 | 第63-65页 |
| ·BPST 陶瓷的介电特性研究 | 第65-72页 |
| ·Ba_(0.7-x)Pb_xSr_(0.3)TiO_3 陶瓷 | 第65-67页 |
| ·Ba_(0.6-x)Pb_xSr_(0.4)TiO_3 陶瓷 | 第67-69页 |
| ·Ba_(0.5-x)Pb_xSr_(0.5)TiO_3 陶瓷 | 第69-70页 |
| ·Ba_(0.4-x)Pb_xSr_(0.6)TiO_3 陶瓷 | 第70-72页 |
| ·BPST 陶瓷的铁电性能研究 | 第72-74页 |
| ·本章小结 | 第74-76页 |
| 4 BPST 晶格结构的第一性原理计算 | 第76-91页 |
| ·第一性原理计算与计算软件简介 | 第76-78页 |
| ·计算模型 | 第78-79页 |
| ·BPST 原始亚晶格的结构计算 | 第79-80页 |
| ·BPST 的晶格结构计算 | 第80-89页 |
| ·(Ba_(0.7-x)Pb_x)Sr_(0.3)TiO_3 晶格 | 第80-83页 |
| ·(Ba_(0.6-x)Pb_x)Sr_(0.4)TiO_3 晶格 | 第83-85页 |
| ·(Ba_(0.5-x)Pb_x)Sr_(0.5)TiO_3 晶格 | 第85-87页 |
| ·(Ba_(0.4-x)Pb_x)Sr_(0.6)TiO_3 晶格 | 第87-89页 |
| ·本章小结 | 第89-91页 |
| 5 BPST 薄膜的射频磁控溅射法制备及性能研究 | 第91-127页 |
| ·BPST 薄膜的制备工艺研究 | 第92-111页 |
| ·Ba_(0.5)Sr_(0.5)TiO_3 薄膜的溅射工艺 | 第93-103页 |
| ·BPST 薄膜的溅射工艺 | 第103-111页 |
| ·BPST 薄膜的微结构与介电性能研究 | 第111-113页 |
| ·BPST 薄膜的FSEM 形貌分析 | 第113-114页 |
| ·BPST 薄膜的漏电流特性 | 第114-115页 |
| ·BPST 薄膜的元素化学态分析 | 第115-125页 |
| ·BPST 薄膜的XPS 概谱分析 | 第116页 |
| ·BPST 薄膜元素的XPS 高分辨能谱分析 | 第116-125页 |
| ·本章小结 | 第125-127页 |
| 6 基于铁电薄膜介电响应的移相器仿真设计 | 第127-152页 |
| ·仿真软件ADS | 第127-128页 |
| ·电容器加载共面波导移相器结构 | 第128-130页 |
| ·移相单元结构参数的计算与仿真优化 | 第130-137页 |
| ·移相单元结构参数的半经验计算方法 | 第130-131页 |
| ·移相单元结构参数的仿真优化 | 第131-137页 |
| ·周期性电容加载共面波导的性能仿真优化 | 第137-144页 |
| ·铁电薄膜移相器的电压调控仿真 | 第144-150页 |
| ·本章小结 | 第150-152页 |
| 7 全文总结 | 第152-155页 |
| ·主要结论 | 第152-153页 |
| ·本文创新之处 | 第153-154页 |
| ·需要进一步研究的问题 | 第154-155页 |
| 致谢 | 第155-157页 |
| 参考文献 | 第157-177页 |
| 附录 1 攻读博士学位期间发表和待发表的论文目录 | 第177-179页 |
| 附录 2 已授权和申请中的专利 | 第179页 |
