声表面波器件的制备及其性能研究
| 中文摘要 | 第1-4页 |
| Abstract | 第4-8页 |
| 第1章 绪论 | 第8-17页 |
| ·声表面波器件的背景 | 第8-9页 |
| ·声表面波器件的历史和现状 | 第9-13页 |
| ·声表面波器件的历史 | 第9-10页 |
| ·国外声表面波器件的现状 | 第10-12页 |
| ·国内声表面波器件的现状 | 第12-13页 |
| ·声表面波器件的工作原理及分类 | 第13-15页 |
| ·声表面波器件的发展趋势 | 第15页 |
| ·本课题主要研究的内容 | 第15-16页 |
| ·本章小结 | 第16-17页 |
| 第2章 声表面波器件的理论基础 | 第17-30页 |
| ·瑞利波的性质 | 第17-18页 |
| ·压电各向异性介质中的声表面波 | 第18-22页 |
| ·叉指换能器的基本理论 | 第22-29页 |
| ·工作原理与基本特性 | 第22-25页 |
| ·δ函数模型 | 第25-26页 |
| ·脉冲响应特性 | 第26-28页 |
| ·输入导纳 | 第28-29页 |
| ·本章小节 | 第29-30页 |
| 第3章 压电基底的制备与研究 | 第30-51页 |
| ·制备 PZT 薄膜的意义 | 第30页 |
| ·PZT 的结构及其组分分析 | 第30-33页 |
| ·PZT 胶体的制备 | 第33-36页 |
| ·PZT 基片的制备 | 第36-38页 |
| ·PZT 薄膜的制备 | 第38-42页 |
| ·PZT 胶体黏度实验及膜厚测试 | 第38-40页 |
| ·PZT 薄膜的制备及测试 | 第40-42页 |
| ·PZT 压电薄膜的性能测试 | 第42-50页 |
| ·极化及电滞回线 | 第42-45页 |
| ·压电效应及压电系数 | 第45-49页 |
| ·介电常数 | 第49-50页 |
| ·本章小结 | 第50-51页 |
| 第4章 叉指换能器的设计与制备 | 第51-61页 |
| ·光刻精度的重要性 | 第51-52页 |
| ·叉指换能器的参数设计 | 第52-55页 |
| ·叉指换能器版图的制备 | 第55-58页 |
| ·叉指换能器的制备 | 第58-60页 |
| ·本章小结 | 第60-61页 |
| 第5章 SAW 振荡电路的设计与仿真 | 第61-68页 |
| ·SAW 振荡电路的设计 | 第61-64页 |
| ·SAW 振荡电路的仿真 | 第64-67页 |
| ·本章小结 | 第67-68页 |
| 结论 | 第68-70页 |
| 参考文献 | 第70-76页 |
| 致谢 | 第76-77页 |
