| 摘要 | 第1-7页 |
| Abstract | 第7-11页 |
| 第一章 绪论 | 第11-21页 |
| ·钙钛矿铁电薄膜及其制备方法 | 第11-13页 |
| ·钙钛矿铁电薄膜 | 第11-12页 |
| ·铁电薄膜的制备方法 | 第12-13页 |
| ·薄膜的初期生长 | 第13-18页 |
| ·亚单层生长 | 第14-16页 |
| ·三维生长 | 第16-18页 |
| ·研究薄膜生长的基本理论与方法 | 第18-19页 |
| ·本论文的选题依据和主要内容 | 第19-21页 |
| ·本文的选题依据 | 第19-20页 |
| ·本文的主要工作 | 第20-21页 |
| 第二章 动力学 Monte Carlo 方法及其在钙钛矿铁电薄膜生长中的应用 | 第21-27页 |
| ·Monte Carlo 方法 | 第21-22页 |
| ·动力学Monte Carlo 方法 | 第22-23页 |
| ·原子间的相互作用势 | 第23-25页 |
| ·动力学Monte Carlo 方法在钙钛矿薄膜生长中的应用 | 第25-26页 |
| ·本章小结 | 第26-27页 |
| 第三章 钙钛矿铁电薄膜二维生长的 KMC 模拟 | 第27-40页 |
| ·二维生长模型及程序编制 | 第27-32页 |
| ·晶格空间的构造 | 第27-28页 |
| ·KMC 算法 | 第28-30页 |
| ·程序编制 | 第30-32页 |
| ·PLD 中的基底温度 | 第32-34页 |
| ·基底温度对岛密度的影响 | 第32-33页 |
| ·基底温度对原子成键率的影响 | 第33-34页 |
| ·激光的脉冲重复频率 | 第34-37页 |
| ·脉冲重复频率对表面形貌的影响 | 第34-35页 |
| ·脉冲重复频率对岛密度和原子成键率的影响 | 第35-37页 |
| ·PLD 中的入射原子动能 | 第37-39页 |
| ·入射原子动能对岛密度的影响 | 第37-38页 |
| ·入射原子动能对原子成键率的影响 | 第38-39页 |
| ·本章小结 | 第39-40页 |
| 第四章 钙钛矿铁电薄膜三维生长的 KMC 模拟 | 第40-55页 |
| ·三维生长模型及程序编制 | 第41-44页 |
| ·晶格空间的构造 | 第41页 |
| ·KMC 算法 | 第41-44页 |
| ·程序编制 | 第44页 |
| ·PLD 中的入射原子动能 | 第44-48页 |
| ·入射原子动能对覆盖率分布的影响 | 第44-46页 |
| ·入射原子动能对表面粗糙度的影响 | 第46-47页 |
| ·入射原子动能对 RHEED 强度的影响 | 第47-48页 |
| ·激光的脉冲重复频率 | 第48-51页 |
| ·脉冲重复频率对覆盖率分布的影响 | 第48-49页 |
| ·脉冲重复频率对表面粗糙度的影响 | 第49-50页 |
| ·脉冲重复频率对 RHEED 强度的影响 | 第50-51页 |
| ·PLD 中的平均沉积速率 | 第51-54页 |
| ·平均沉积速率对覆盖率分布的影响 | 第51-53页 |
| ·平均沉积速率对表面粗糙度的影响 | 第53页 |
| ·平均沉积速率对 RHEED 强度的影响 | 第53-54页 |
| ·本章小结 | 第54-55页 |
| 第五章 总结与展望 | 第55-57页 |
| ·论文总结 | 第55-56页 |
| ·工作展望 | 第56-57页 |
| 参考文献 | 第57-61页 |
| 致谢 | 第61-62页 |
| 附录 A 攻读硕士学位期间发表的论文 | 第62页 |