显微干涉术在测量微小表面几何参数中的关键技术研究
| 摘要 | 第1-6页 |
| ABSTRACT | 第6-10页 |
| 1 绪论 | 第10-25页 |
| ·本文的研究背景 | 第10-11页 |
| ·国内外研究现状 | 第11-22页 |
| ·本文研究采取的方案 | 第22页 |
| ·本文主要研究工作和内容安排 | 第22-25页 |
| 2 显微移相干涉术 | 第25-43页 |
| ·移相干涉术基本原理 | 第25-28页 |
| ·相移实现模式 | 第28-32页 |
| ·相位提取算法 | 第32-35页 |
| ·常见相位提取算法 | 第32-33页 |
| ·OAF相位提取算法 | 第33-35页 |
| ·相位解包 | 第35-42页 |
| ·相位解包的基本原理 | 第36-37页 |
| ·基于路径优先搜索的相位解包算法 | 第37-42页 |
| ·本章小结 | 第42-43页 |
| 3 显微移相干涉系统的设计 | 第43-63页 |
| ·系统工作原理 | 第43-44页 |
| ·干涉显微镜光学系统 | 第44-46页 |
| ·相移控制驱动系统 | 第46-57页 |
| ·压电陶瓷移相器 | 第46-48页 |
| ·单组PZT微位移的非线性校正 | 第48-52页 |
| ·移相器的标定 | 第52-54页 |
| ·移相器非线性测量与校正实例 | 第54-57页 |
| ·图像采集与处理系统 | 第57页 |
| ·系统误差的分析与测试 | 第57-61页 |
| ·系统各部分误差因素的影响 | 第57-60页 |
| ·系统误差的测定 | 第60-61页 |
| ·本章小结 | 第61-63页 |
| 4 微小表面面形和球面曲率半径的测量研究 | 第63-88页 |
| ·曲率半径的测量概述 | 第63页 |
| ·条纹法 | 第63-70页 |
| ·条纹的识别与处理 | 第63-65页 |
| ·采样数据的处理算法 | 第65-68页 |
| ·测量实例 | 第68-69页 |
| ·误差分析 | 第69-70页 |
| ·移相干涉法 | 第70-81页 |
| ·测量原理 | 第71-74页 |
| ·移相误差影响的分析与比较 | 第74-79页 |
| ·测量实例 | 第79-81页 |
| ·结论 | 第81页 |
| ·虚光栅移相莫尔条纹法 | 第81-87页 |
| ·测量原理 | 第82-84页 |
| ·测量实例 | 第84-87页 |
| ·本章小结 | 第87-88页 |
| 5 光纤连接器端面顶点偏移和光纤高度的测量研究 | 第88-102页 |
| ·概述 | 第88-89页 |
| ·顶点偏移的测量方法 | 第89-99页 |
| ·顶点-纤芯法测量原理 | 第89-93页 |
| ·旋转π法测量原理 | 第93-99页 |
| ·结论 | 第99页 |
| ·光纤高度的测量方法 | 第99-101页 |
| ·本章小结 | 第101-102页 |
| 6 全文总结 | 第102-106页 |
| ·本文所做的工作及创新点 | 第102-105页 |
| ·有待研究和解决的问题 | 第105-106页 |
| 致谢 | 第106-107页 |
| 参考文献 | 第107-118页 |
| 博士在读期间发表论文 | 第118页 |
| 博士在读期间科研和获奖 | 第118-119页 |
| 科研项目 | 第118-119页 |
| 有关获奖 | 第119页 |
