| 摘要 | 第1-4页 |
| Abstract | 第4-6页 |
| 1. 绪论 | 第6-11页 |
| ·MMIC的发展概况 | 第6-8页 |
| ·单片数字衰减器的发展概况 | 第8-9页 |
| ·研究内容 | 第9-11页 |
| 2. 衰减器的基本理论 | 第11-19页 |
| ·衰减器的主要技术指标 | 第11-12页 |
| ·三种衰减器的拓扑结构 | 第12-19页 |
| 3. 总体方案选择 | 第19-30页 |
| ·工艺线的选择 | 第19-20页 |
| ·管芯的选择 | 第20-23页 |
| ·设计软件的选择 | 第23-29页 |
| ·HEMT器件及模型 | 第24-26页 |
| ·无源器件模型 | 第26-29页 |
| ·电路设计的总体方案 | 第29-30页 |
| 4. 六位数字衰减器MMIC的设计 | 第30-48页 |
| ·可控衰减器的三种结构 | 第30-37页 |
| ·T型对称结构 | 第30-33页 |
| ·桥T型结构 | 第33-34页 |
| ·Pi型结构 | 第34-37页 |
| ·总体电路的设计仿真与优化 | 第37-40页 |
| ·生成版图及版图的优化 | 第40-46页 |
| ·性能的比较与分析 | 第46-48页 |
| 5. MMIC加工工艺以及加工流程 | 第48-52页 |
| ·MMIC的工艺技术 | 第48-49页 |
| ·芯片加工流程 | 第49-52页 |
| 结论 | 第52-53页 |
| 致谢 | 第53-54页 |
| 参考文献 | 第54-56页 |