| 摘要 | 第1-3页 |
| ABSTRACT | 第3-4页 |
| 目录 | 第4-7页 |
| 第一章 综述 | 第7-16页 |
| ·等离子体的概念 | 第7页 |
| ·描述等离子体状态的重要物理量 | 第7-9页 |
| ·等离子体生成原理、方法 | 第9-11页 |
| ·等离子体的特性及应用前景 | 第11-13页 |
| ·等离子体的特性 | 第11-12页 |
| ·等离子体的应用前景 | 第12-13页 |
| ·本论文的研究目的和研究内容 | 第13-14页 |
| 参考文献 | 第14-16页 |
| 第二章 低温冷等离子体(cold plasma)的诊断 | 第16-36页 |
| ·探针法 | 第17-22页 |
| ·Langmuir探针的基础理论 | 第17-19页 |
| ·Langmuir探针的工作原理 | 第19-21页 |
| ·探针的Ⅰ—Ⅴ特性曲线可求得的等离子体参数 | 第21-22页 |
| ·光谱法 | 第22-32页 |
| ·发射光谱法(Optical Emission Spectroscopy,OES) | 第22-32页 |
| ·发射光谱的基本原理 | 第23页 |
| ·谱线的展宽与线型 | 第23-25页 |
| ·等离子体的发射光谱 | 第25-27页 |
| ·根据光谱的相对强度计算激发温度 | 第26页 |
| ·根据半峰宽(FWHM)计算电子密度n_e或离子温度T_i | 第26页 |
| ·根据斯塔克展宽计算电子密度n_e | 第26-27页 |
| ·根据多普勒展宽计算离子温度T_i | 第27页 |
| ·根据双原子分子振转谱线强度计算转动温度Trot | 第27页 |
| ·多原子的分子光谱综述 | 第27-32页 |
| ·其它诊断方法 | 第32页 |
| ·本章小结 | 第32-34页 |
| 参考文献 | 第34-36页 |
| 第三章 螺旋波等离子体简介 | 第36-42页 |
| ·螺旋波等离子体的特点 | 第36-37页 |
| ·螺旋波等离子体色散关系 | 第37-38页 |
| ·天线耦合 | 第38-40页 |
| ·本章小结 | 第40-41页 |
| 参考文献 | 第41-42页 |
| 第四章 甲烷等离子体光谱诊断 | 第42-66页 |
| ·甲烷等离子体的研究现状 | 第42-44页 |
| ·实验 | 第44-47页 |
| ·实验装置 | 第45-46页 |
| ·光谱产生系统 | 第45-46页 |
| ·光谱测量系统 | 第46页 |
| ·实验过程简述 | 第46-47页 |
| ·结果与分析 | 第47-65页 |
| ·理论 | 第47-54页 |
| ·甲烷和氦气系统中的反应过程 | 第48-52页 |
| ·甲烷和氢气系统中的反应过程 | 第52-54页 |
| ·CH_4/He混合气体HWP放电等离子体中基团分布规律 | 第54-60页 |
| ·CH_4/He混合气体放电等离子体的发射光谱图 | 第54-56页 |
| ·H_α、H_β以及H_γ相对强度随宏观放电参量的变化分析 | 第56-58页 |
| ·日冕模型的引用 | 第56-57页 |
| ·氢的三条原子谱线的变化 | 第57-58页 |
| ·CH基团的相对强度随宏观放电参量的变化分析 | 第58-60页 |
| ·CH_4/H_2混合气体HWP放电等离子体中基团分布规律 | 第60-65页 |
| ·发射光谱图常用基团本征谱线的识别 | 第60-62页 |
| ·CH_4/H_2混合气体放电等离子体的发射光谱图 | 第62-63页 |
| ·H_α、H_β、H_γ以及CH基团的相对强度随宏观参量的变化 | 第63-65页 |
| ·本章小结 | 第65-66页 |
| 参考文献 | 第66-68页 |
| 第五章 总结 | 第68-70页 |
| 攻读硕士学位期间所发表的论文 | 第70页 |
| 攻读硕士学位期间所参加科研工作 | 第70-71页 |
| 致谢 | 第71-72页 |
