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微型泵优化设计方法及原型系统研究

摘要第1-5页
ABSTRACT第5-10页
1 绪论第10-15页
   ·引言第10页
   ·国内外文献综述第10-12页
   ·论文研究的目的和意义第12-13页
   ·论文研究的内容和技术路线第13-15页
2 微型泵优化设计方法第15-30页
   ·MEMS设计方法概述第15-17页
     ·正向设计方法第15-16页
     ·反向设计方法第16页
     ·综合优化设计方法第16-17页
   ·微型泵数值模拟分析方法第17-20页
     ·有限元数值模拟分析概述第17-18页
     ·微型泵有限元数值模拟分析方法第18页
     ·基于ANSYS的微型泵数值模拟分析流程第18-20页
   ·微型泵优化模型建立方法第20-28页
     ·非线性回归概述第21-22页
     ·微型泵优化模型建立的非线性回归方法第22-24页
     ·基于SAS的微型泵优化模型建立流程第24-28页
   ·本章小结第28-30页
3 热驱动微型泵数值模拟分析第30-37页
   ·热驱动微型泵工作原理及结构设计第30-31页
   ·热驱动微型泵有限元分析第31-34页
     ·有限元模型建立第31-33页
     ·加载及求解过程第33-34页
   ·热驱动微型泵性能分析第34-36页
     ·加热功率对热驱动微型泵性能的影响第34-35页
     ·加热频率对热驱动微型泵性能的影响第35-36页
     ·铝膜大小和位置对热驱动微型泵性能的影响第36页
     ·复合膜厚度对热驱动微型泵性能的影响第36页
   ·本章小结第36-37页
4 热驱动微型泵优化模型的建立及求解第37-47页
   ·微型泵优化回归模型建立方法第37-39页
   ·热驱动微型泵优化回归模型数据的获取第39-40页
   ·热驱动微型泵优化回归模型的建立第40-41页
   ·热驱动微型泵优化回归模型的求解第41-42页
   ·热驱动微型泵优化回归模型的检验第42-45页
   ·热驱动微型泵优化设计参数获取及验证第45-46页
   ·本章小结第46-47页
5 微型泵优化设计原型系统的分析与建模第47-57页
   ·系统功能模块体系结构第47-49页
     ·虚拟原型设计层第47-48页
     ·数值模拟分析层第48-49页
     ·综合优化设计层第49页
   ·系统分析与建模第49-53页
     ·系统功能需求用例模型第49-50页
     ·系统活动模型第50-52页
     ·系统类图第52页
     ·系统软件结构模型第52-53页
     ·系统总体配置结构模型第53页
   ·信息支持系统的建立与实现第53-56页
     ·模型库第53-55页
     ·几何造型库第55页
     ·数据库系统第55-56页
   ·本章小结第56-57页
6 微型泵优化设计原型软件开发及实例验证第57-68页
   ·原型系统实现第57-64页
     ·虚拟原型设计子系统第57-60页
     ·数值模拟分析子系统第60-62页
     ·综合优化设计子系统第62-64页
     ·系统的集成第64页
   ·系统的实例验证第64-67页
     ·虚拟原型设计第64页
     ·数值模拟分析第64-66页
     ·综合优化设计第66-67页
   ·本章小结第67-68页
7 结论第68-70页
   ·结论第68页
   ·研究展望第68-70页
致谢第70-71页
参考文献第71-75页
附录第75页

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