| 第一章 引言 | 第1-17页 |
| ·铁电材料简介 | 第9-11页 |
| ·本课题的应用背景和研究内容 | 第11-17页 |
| 第二章 脉冲激光薄膜沉积技术 | 第17-23页 |
| 第三章 PLT薄膜沉积参数与结构表征 | 第23-30页 |
| ·薄膜的制备及工艺 | 第23-29页 |
| ·薄膜结构及其性能表征方法 | 第29-30页 |
| 第四章 PLT薄膜的电学性质 | 第30-43页 |
| ·铁电测试与无疲劳特性 | 第30-37页 |
| ·介电温谱与弥散型铁电相变 | 第37-41页 |
| ·漏电流性质 | 第41-43页 |
| 第五章 低温后处理对Pt/Ba_(0.8)Sr_(0.2)TiO_3/Pt的介电、漏电性质的影响 | 第43-51页 |
| 第六章 总结 | 第51-53页 |
| 参考文献 | 第53-56页 |
| 攻读硕士学位期间公开发表的论文 | 第56-57页 |
| 致谢 | 第57页 |