| 中文摘要 | 第1-9页 |
| 英文摘要 | 第9-10页 |
| 1 文献综述 | 第10-23页 |
| 1．1 缓蚀剂技术的特点 | 第10页 |
| 1．2 缓蚀剂技术的发展概况 | 第10页 |
| 1．3 缓蚀剂的分类 | 第10-11页 |
| 1．4 缓蚀剂的作用机理 | 第11页 |
| 1．4．1 无机缓蚀剂的作用机理 | 第11页 |
| 1．4．2 有机缓蚀剂的作用机理 | 第11页 |
| 1．5 缓蚀剂的研究方法 | 第11-13页 |
| 1．5．1 失重法 | 第11页 |
| 1．5．2 电化学法 | 第11-13页 |
| 1．5．2．1 线性极化法 | 第12页 |
| 1．5．2．2 Tafel曲线外推法 | 第12页 |
| 1．5．2．3 弱极化法 | 第12页 |
| 1．5．2．4 恒电量法 | 第12-13页 |
| 1．5．2．5 交流阻抗法 | 第13页 |
| 1．6 气相缓蚀剂的特点及性能指标 | 第13-14页 |
| 1．7 气相缓蚀剂的发展 | 第14-15页 |
| 1．8 气相缓蚀剂的发展方向 | 第15页 |
| 1．8．1 发展高效低毒的气相缓蚀剂 | 第15页 |
| 1．8．2 发展通用型气相缓蚀剂 | 第15页 |
| 1．9 气相缓蚀剂的研究热点 | 第15-18页 |
| 1．9．1 研究最佳复配配方 | 第15-16页 |
| 1．9．2 进行分子设计合成低聚型气相缓蚀剂 | 第16页 |
| 1．9．3 进一步发展气相缓蚀剂的评价方法 | 第16-17页 |
| 1．9．4 发展多载体气相缓蚀剂应用技术 | 第17-18页 |
| 1．10 新近公布的部分气相缓蚀剂 | 第18-20页 |
| 1．11 课题背景及介绍 | 第20-21页 |
| 参考文献 | 第21-23页 |
| 2 气相缓蚀剂YC-1的合成 | 第23-27页 |
| 2．1 YC-1的设计 | 第23页 |
| 2．2 实验内容与方法 | 第23-25页 |
| 2．2．1 原料2-甲基咪唑啉的精制 | 第23-24页 |
| 2．2．1．1 重结晶 | 第23页 |
| 2．2．1．2 熔点测定 | 第23-24页 |
| 2．2．2 气相缓蚀剂YC-1的合成 | 第24页 |
| 2．2．2．1 实验仪器 | 第24页 |
| 2．2．2．2 原料与试剂 | 第24页 |
| 2．2．2．3 合成方法 | 第24页 |
| 2．2．2．4 反应物配比探讨 | 第24页 |
| 2．2．3 原料2-甲基咪唑啉的合成 | 第24-25页 |
| 2．2．3．1 实验仪器 | 第24-25页 |
| 2．2．3．2 原料与试剂 | 第25页 |
| 2．2．3．3 合成方法 | 第25页 |
| 2．3 结果与讨论 | 第25-26页 |
| 2．3．1 原料2-甲基咪唑啉的精制 | 第25页 |
| 2．3．1．1 空气中稳定性 | 第25页 |
| 2．3．1．2 熔点 | 第25页 |
| 2．3．2 最佳反应物配比 | 第25-26页 |
| 2．3．3 原料2-甲基咪唑啉的进一步合成 | 第26页 |
| 2．3．3．1 反应现象观察 | 第26页 |
| 2．3．3．2 合成产品的MS分析 | 第26页 |
| 参考文献 | 第26-27页 |
| 3 失重法评价气相缓蚀剂 | 第27-41页 |
| 3．1 实验条件 | 第27-29页 |
| 3．2 实验内容与方法 | 第29-30页 |
| 3．2．1 挂片位置对失重法评价气相缓蚀剂缓蚀性能的影响 | 第29-30页 |
| 3．2．2 温度对气相缓蚀剂缓蚀性能的影响 | 第30页 |
| 3．2．3 失重法评价YC-1的缓蚀性能 | 第30页 |
| 3．3 结果与讨论 | 第30-40页 |
| 3．3．1 挂片位置对失重法评价气相缓蚀剂缓蚀效果的影响 | 第31-32页 |
| 3．3．2 温度对气相缓蚀剂缓蚀效果的影响 | 第32-37页 |
| 3．3．3 YC-1的气相缓蚀性能 | 第37-40页 |
| 小结 | 第40页 |
| 参考文献 | 第40-41页 |
| 4 电化学法评价气相缓蚀剂 | 第41-54页 |
| 4．1 实验条件 | 第41-43页 |
| 4．1．1 试样材料和规格 | 第41页 |
| 4．1．2 实验介质 | 第41页 |
| 4．1．3 实验所用缓蚀剂品种与用量 | 第41页 |
| 4．1．4 实验温度 | 第41页 |
| 4．1．5 实验仪器 | 第41页 |
| 4．1．6 实验装置 | 第41-42页 |
| 4．1．7 实验步骤 | 第42-43页 |
| 4．2 实验内容及测量条件 | 第43页 |
| 4．2．1 弱极化法测量 | 第43页 |
| 4．2．2 Tafel极化曲线法测量 | 第43页 |
| 4．2．3 交流阻抗法测量 | 第43页 |
| 4．3 结果与讨论 | 第43-53页 |
| 4．3．1 弱极化曲线测量 | 第43-46页 |
| 4．3．2 Tafel曲线测量 | 第46-47页 |
| 4．3．3 交流阻抗测定 | 第47-50页 |
| 4．3．4 super软件介绍 | 第50-53页 |
| 小结 | 第53页 |
| 参考文献 | 第53-54页 |
| 5 结论 | 第54-55页 |
| 攻读硕士学位期间发表文章情况 | 第55-56页 |
| 致谢 | 第56页 |