紫外光固化金刚石线锯制造技术研究
| 摘要 | 第1-6页 |
| ABSTRACT | 第6-11页 |
| 第1章 绪论 | 第11-31页 |
| 前言 | 第11页 |
| ·研究背景 | 第11-12页 |
| ·半导体材料及其切割技术发展概况 | 第12-16页 |
| ·半导体材料的现状与发展趋势 | 第12-13页 |
| ·硅片的制备工艺流程简介 | 第13-15页 |
| ·半导体材料切割加工技术概况 | 第15-16页 |
| ·线锯技术的研究与发展现状 | 第16-21页 |
| ·游离磨料线锯切割技术 | 第16-17页 |
| ·游离磨料线锯与固结磨料线锯的比较 | 第17-18页 |
| ·固结磨料线锯的制造技术及特点 | 第18-21页 |
| ·紫外光固化技术应用与发展现状 | 第21-26页 |
| ·紫外光固化技术概述 | 第21-23页 |
| ·紫外光固化树脂的工业应用 | 第23-24页 |
| ·紫外光固化技术的研究与发展 | 第24-26页 |
| ·紫外光固化磨具的研究现状 | 第26-29页 |
| ·国外研究现状 | 第26-27页 |
| ·国内研究现状 | 第27-29页 |
| ·本文的研究意义及内容 | 第29-31页 |
| 第2章 光固化树脂结合剂的机械物理性能研究 | 第31-51页 |
| 前言 | 第31页 |
| ·紫外光固化材料的组成及性能 | 第31-35页 |
| ·低聚物 | 第31-32页 |
| ·活性稀释剂 | 第32-33页 |
| ·光引发剂 | 第33-34页 |
| ·助剂 | 第34-35页 |
| ·光固化树脂结合剂的性能要求及选择原则 | 第35-38页 |
| ·光固化线锯树脂结合剂的性能要求 | 第35-36页 |
| ·光固化线锯结合剂性能的选择原则 | 第36-38页 |
| ·紫外光固化树脂机械物理性能测试 | 第38-50页 |
| ·实验材料及试件制备 | 第38-40页 |
| ·柔韧性 | 第40-42页 |
| ·耐冲击性 | 第42-44页 |
| ·铅笔硬度 | 第44-46页 |
| ·附着力 | 第46-50页 |
| ·结合剂机械物理性能的实验结果评价 | 第50页 |
| ·本章小结 | 第50-51页 |
| 第3章 芯线材料及其界面结合性能研究 | 第51-71页 |
| 前言 | 第51页 |
| ·主要粘接理论 | 第51-54页 |
| ·表面预处理常用方法 | 第54-55页 |
| ·表面预处理的作用 | 第54页 |
| ·表面预处理常用方法 | 第54-55页 |
| ·光固化线锯芯线性能要求及材料选择 | 第55-59页 |
| ·线锯工作受力分析 | 第55-58页 |
| ·线锯芯线的材料 | 第58-59页 |
| ·金属芯线的表面处理方法及评价 | 第59-64页 |
| ·金属芯线材质的性能及特点 | 第59-60页 |
| ·不同表面处理方法对附着力的影响与评价 | 第60-63页 |
| ·钢丝表面清洗对附着力的影响 | 第63-64页 |
| ·非金属芯线的表面处理方法及评价 | 第64-70页 |
| ·聚乙烯芯线铬酸处理的基本原理 | 第64-65页 |
| ·铬酸处理对聚乙烯芯线附着力的影响 | 第65-66页 |
| ·铬酸处理的工艺控制 | 第66-70页 |
| ·本章小结 | 第70-71页 |
| 第4章 金刚石包镶固位能力的研究 | 第71-91页 |
| 前言 | 第71页 |
| ·结合剂固位机理研究概述 | 第71-74页 |
| ·结合剂的固位机理分析 | 第71-72页 |
| ·金刚石包镶能力的研究现状概述 | 第72-74页 |
| ·机械包镶力的分析与计算 | 第74-78页 |
| ·机械包镶力的力学模型分析 | 第74-76页 |
| ·机械包镶力的计算 | 第76-77页 |
| ·树脂磨料层结构单元的参数确定 | 第77-78页 |
| ·结合剂对金刚石包镶能力的评价方法 | 第78-80页 |
| ·金刚石界面结合特性的评价方法 | 第78-79页 |
| ·拉伸法的实验评价模型 | 第79-80页 |
| ·提高光固化线锯金刚石包镶能力的措施 | 第80-90页 |
| ·光固化线锯磨料的选择 | 第80-81页 |
| ·金刚石表面改性对包镶能力的影响 | 第81-84页 |
| ·改性树脂对金刚石包镶能力的影响 | 第84-88页 |
| ·金刚石表面处理对包镶能力的影响 | 第88-90页 |
| ·本章小结 | 第90-91页 |
| 第5章 线锯涂覆与光固化控制技术研究 | 第91-113页 |
| 前言 | 第91页 |
| ·紫外光固化原理与技术概述 | 第91-94页 |
| ·紫外光固化原理 | 第91-93页 |
| ·影响紫外光深层固化的因素 | 第93-94页 |
| ·紫外光固化树脂磨具的固化特性 | 第94-96页 |
| ·光固化线锯的制造工艺 | 第96-98页 |
| ·光固化线锯制造工艺流程 | 第96-97页 |
| ·光固化线锯制造工艺步骤 | 第97-98页 |
| ·线锯涂覆固化机的研制 | 第98-103页 |
| ·线锯涂覆固化机性能指标 | 第98-99页 |
| ·涂覆模具的设计 | 第99-100页 |
| ·UV灯的工艺设计 | 第100-101页 |
| ·传动机构及电器控制系统设计 | 第101-103页 |
| ·光固化线锯涂覆工艺 | 第103-106页 |
| ·线锯磨料层工艺结构设计 | 第103页 |
| ·金刚石浓度与粒度的选择 | 第103-104页 |
| ·线锯涂覆直径和涂覆模具结构之间的关系 | 第104-106页 |
| ·光固化线锯固化工艺 | 第106-111页 |
| ·线锯涂层固化度的测试评价方法 | 第106-107页 |
| ·走线速度和固化性能的关系 | 第107-109页 |
| ·氧气阻聚问题的解决措施 | 第109-110页 |
| ·固化炉内温度的控制 | 第110-111页 |
| ·本章小结 | 第111-113页 |
| 第6章 光固化线锯磨损失效机理及加工性能研究 | 第113-135页 |
| 前言 | 第113页 |
| ·金刚石工具加工硬脆材料磨削机理概述 | 第113-114页 |
| ·光固化线锯磨损与失效机理的研究 | 第114-121页 |
| ·光固化线锯的磨损失效形式 | 第114-115页 |
| ·树脂磨料层剥落失效 | 第115-116页 |
| ·树脂磨料层磨损失效 | 第116-119页 |
| ·金刚石磨粒的磨损失效形式 | 第119-121页 |
| ·光固化线锯加工性能的研究 | 第121-133页 |
| ·光固化线锯加工性能的评价 | 第121-123页 |
| ·金刚石出刃高度对线锯锯切性能的影响 | 第123-124页 |
| ·光固化树脂单体改性对线锯加工性能的提高 | 第124-127页 |
| ·非金属芯线预张拉处理对线锯加工性能的提高 | 第127-129页 |
| ·光固化线锯与商品线锯锯切性能的比较 | 第129-133页 |
| ·本章小结 | 第133-135页 |
| 第7章 结论与展望 | 第135-137页 |
| ·结论 | 第135-136页 |
| ·展望 | 第136-137页 |
| 参考文献 | 第137-143页 |
| 致谢 | 第143-144页 |
| 攻读学位期间参加的科研项目和成果 | 第144页 |
