数字式射频电源控制系统的研究
| 作者简介 | 第1-6页 |
| 摘要 | 第6-8页 |
| ABSTRACT | 第8-12页 |
| 第一章 绪论 | 第12-16页 |
| §1.1 课题的来源 | 第12-13页 |
| §1.2 课题的研究目的 | 第13页 |
| §1.3 射频电源的国内外研究现状和发展趋势 | 第13-15页 |
| ·国外研究的现状及发展趋势 | 第13-14页 |
| ·国内研究的现状及发展趋势 | 第14-15页 |
| §1.4 主要研究内容 | 第15-16页 |
| 第二章 数字式射频电源的设计思想及控制系统的组成 | 第16-24页 |
| §2.1 ICP光谱分析仪概述 | 第16页 |
| §2.2 电感耦合等离子体放电的形成 | 第16-17页 |
| §2.3 它激式射频电源的系统构成 | 第17-20页 |
| ·ICP对射频电源的要求 | 第17-18页 |
| ·射频电源的分类 | 第18-19页 |
| ·它激式射频电源 | 第19-20页 |
| §2.4 数字式射频电源的设计思想 | 第20-22页 |
| §2.5 数字式射频电源控制系统的组成 | 第22-24页 |
| 第三章 数字式射频电源功率驱动级的设计 | 第24-38页 |
| §3.1 功率驱动级的电路结构 | 第24页 |
| §3.2 PWM时钟信号产生电路设计 | 第24-33页 |
| ·石英晶体振荡器的选择 | 第25-26页 |
| ·时钟信号整形电路设计 | 第26-28页 |
| ·PWM调制电路设计 | 第28-31页 |
| ·自锁电路设计 | 第31页 |
| ·PWM时钟信号输出电路设计 | 第31-33页 |
| §3.3 驱动信号功率放大电路 | 第33-36页 |
| ·对大功率MOS管门极驱动信号的要求 | 第33-34页 |
| ·门极驱动功率放大电路的设计 | 第34-36页 |
| §3.4 功率驱动级的电路调试 | 第36-38页 |
| 第四章 数字式射频电源的功率控制与工作状态监控 | 第38-49页 |
| §4.1 数字式射频电源的功率控制 | 第38-41页 |
| ·射频输出功率的测量 | 第38-40页 |
| ·射频输出功率的设定与控制 | 第40-41页 |
| §4.2 数字式射频电源的工作状态监控 | 第41-44页 |
| ·48V直流电源的状态监测 | 第42页 |
| ·MOS管驱动级输出电流和PWM门槛电压的监控 | 第42页 |
| ·大功率MOS管漏极电压和工作温度的监测 | 第42-44页 |
| §4.3 数字式射频电源的控制系统软件 | 第44-49页 |
| ·射频电源控制系统的通讯 | 第44页 |
| ·状态检测与保护 | 第44-45页 |
| ·ICP点火与功率维持 | 第45-47页 |
| ·计算机监控软件 | 第47-49页 |
| 第五章 数字式射频电源控制系统的电磁兼容 | 第49-53页 |
| §5.1 PCB板设计的电磁兼容 | 第49-52页 |
| ·电路板的布局、分层和布线要求 | 第49-50页 |
| ·旁路、去耦和储能电容的使用 | 第50页 |
| ·EMC器件的使用 | 第50-51页 |
| ·时钟部分的设计 | 第51-52页 |
| §5.2 板级信号传输的电磁兼容 | 第52-53页 |
| 第六章 总结与展望 | 第53-54页 |
| 致谢 | 第54-55页 |
| 参考文献 | 第55-57页 |
