基于旋转台式轮廓仪对圆柱体表面粗糙度测量的研究
| 摘要 | 第1-4页 |
| ABSTRACT | 第4-5页 |
| 目录 | 第5-8页 |
| 第一章 绪论 | 第8-15页 |
| ·表面粗糙度概述 | 第8-11页 |
| ·表面粗糙度的概念 | 第8页 |
| ·表面粗糙度产生的原因 | 第8-9页 |
| ·表面粗糙度测量技术的发展 | 第9页 |
| ·表面粗糙度评定的术语、符号对照 | 第9-11页 |
| ·课题的研究背景 | 第11-12页 |
| ·课题的主要研究内容 | 第12-15页 |
| ·仪器工作原理说明 | 第12页 |
| ·主要内容 | 第12-15页 |
| 第二章 工作台的设计 | 第15-25页 |
| ·工作台的要求 | 第15-16页 |
| ·工作台电控系统 | 第16-23页 |
| ·闭环伺服控制系统 | 第16-17页 |
| ·步进电机的动态特性 | 第17-20页 |
| ·细分控制功率放大电路 | 第20-23页 |
| ·卡盘安装 | 第23-24页 |
| ·本章小结 | 第24-25页 |
| 第三章 采集系统的硬件设计 | 第25-38页 |
| ·系统组成及工作原理 | 第25-26页 |
| ·传感器的选择 | 第26-29页 |
| ·传感器的原理与分析 | 第26-27页 |
| ·电感传感器工作原理 | 第27-28页 |
| ·传感器信号调理电路 | 第28-29页 |
| ·集成调理电路 | 第29-33页 |
| ·放大电路 | 第29-30页 |
| ·滤波电路 | 第30-31页 |
| ·激磁电源 | 第31页 |
| ·采样及A/D转换电路 | 第31-33页 |
| ·集成处理原件 | 第33-36页 |
| ·硬件可靠性及其抗干扰性 | 第36-37页 |
| ·本章小结 | 第37-38页 |
| 第四章 控制软件设计与数据处理 | 第38-53页 |
| ·工作台控制 | 第38-42页 |
| ·工作台步进电机运动控制 | 第38-39页 |
| ·直流伺服电机的调速控制 | 第39-42页 |
| ·数据程序 | 第42-47页 |
| ·数据采集 | 第42-44页 |
| ·A/D转换实现 | 第44-45页 |
| ·测量数据导出 | 第45-47页 |
| ·测量数据处理程序 | 第47-52页 |
| ·峰-谷幅度参数 | 第48-49页 |
| ·平均值幅度参数 | 第49-50页 |
| ·间距参数算法 | 第50-51页 |
| ·混和参数算法 | 第51-52页 |
| ·本章小结 | 第52-53页 |
| 第五章 误差分析与补偿 | 第53-63页 |
| ·误差概述 | 第53-54页 |
| ·误差的表示方法 | 第53页 |
| ·误差来源 | 第53-54页 |
| ·误差分类 | 第54页 |
| ·设计误差分析 | 第54-57页 |
| ·主轴回转精度 | 第54-55页 |
| ·圆度误差 | 第55页 |
| ·安装误差 | 第55-56页 |
| ·测头误差与测量力的大小 | 第56页 |
| ·电感传感器误差分析 | 第56页 |
| ·AD698处理芯片误差分析 | 第56-57页 |
| ·A/D转换器误差分析 | 第57页 |
| ·误差补偿 | 第57-62页 |
| ·误差补偿 | 第57-58页 |
| ·标度变换 | 第58页 |
| ·数字滤波 | 第58-62页 |
| ·其它因素造成的影响 | 第62页 |
| ·本章小结 | 第62-63页 |
| 第六章 总结与展望 | 第63-65页 |
| ·总结 | 第63页 |
| ·展望 | 第63-65页 |
| 致谢 | 第65-66页 |
| 参考文献 | 第66-69页 |
| 硕士期间发表的学术论文及科研成果 | 第69页 |
