微波放电激发大面积矩形表面波等离子体的研究
| 摘要 | 第1-6页 |
| Abstract | 第6-10页 |
| 1 绪论 | 第10-23页 |
| ·表面波等离子体的研究背景 | 第10-12页 |
| ·描述SWP常用的物理参量 | 第12-17页 |
| ·表面波等离子体的研究现状 | 第17-21页 |
| ·论文架构和研究内容 | 第21-23页 |
| 2 表面波等离子体的机理分析 | 第23-62页 |
| ·表面等离子体激元的理论探讨 | 第23-39页 |
| ·表面波等离子体物理模型分析 | 第39-47页 |
| ·电磁波在密度梯度层中的局域增强 | 第47-60页 |
| ·本章小结 | 第60-62页 |
| 3 波模转换器的工程实现 | 第62-96页 |
| ·开槽天线的结构设定 | 第62-74页 |
| ·对比实验结果与讨论 | 第74-78页 |
| ·单模谐振腔阵列的设定 | 第78-82页 |
| ·亚波长衍射光栅的设计 | 第82-95页 |
| ·本章小结 | 第95-96页 |
| 4 表面波等离子体的实验研究 | 第96-133页 |
| ·表面波等离子体的待测内容 | 第96-97页 |
| ·表面波等离子体的参数测试方法 | 第97-110页 |
| ·表面等离子体激元放电的实验验证 | 第110-116页 |
| ·高效表面波等离子体源的实验研究 | 第116-131页 |
| ·本章小结 | 第131-133页 |
| 5 表面波等离子体的数值模拟与仿真 | 第133-156页 |
| ·表面波等离子体的数值计算方法 | 第133-135页 |
| ·表面波等离子体的数值模型设计 | 第135-139页 |
| ·数值模拟结论及与实验对比分析 | 第139-146页 |
| ·高频电磁软件仿真表面电磁波 | 第146-155页 |
| ·本章小结 | 第155-156页 |
| 6 全文总结与展望 | 第156-158页 |
| 致谢 | 第158-159页 |
| 参考文献 | 第159-169页 |
| 附录 攻读博士学位期间发表论文目录 | 第169-170页 |
