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微波放电激发大面积矩形表面波等离子体的研究

摘要第1-6页
Abstract第6-10页
1 绪论第10-23页
   ·表面波等离子体的研究背景第10-12页
   ·描述SWP常用的物理参量第12-17页
   ·表面波等离子体的研究现状第17-21页
   ·论文架构和研究内容第21-23页
2 表面波等离子体的机理分析第23-62页
   ·表面等离子体激元的理论探讨第23-39页
   ·表面波等离子体物理模型分析第39-47页
   ·电磁波在密度梯度层中的局域增强第47-60页
   ·本章小结第60-62页
3 波模转换器的工程实现第62-96页
   ·开槽天线的结构设定第62-74页
   ·对比实验结果与讨论第74-78页
   ·单模谐振腔阵列的设定第78-82页
   ·亚波长衍射光栅的设计第82-95页
   ·本章小结第95-96页
4 表面波等离子体的实验研究第96-133页
   ·表面波等离子体的待测内容第96-97页
   ·表面波等离子体的参数测试方法第97-110页
   ·表面等离子体激元放电的实验验证第110-116页
   ·高效表面波等离子体源的实验研究第116-131页
   ·本章小结第131-133页
5 表面波等离子体的数值模拟与仿真第133-156页
   ·表面波等离子体的数值计算方法第133-135页
   ·表面波等离子体的数值模型设计第135-139页
   ·数值模拟结论及与实验对比分析第139-146页
   ·高频电磁软件仿真表面电磁波第146-155页
   ·本章小结第155-156页
6 全文总结与展望第156-158页
致谢第158-159页
参考文献第159-169页
附录 攻读博士学位期间发表论文目录第169-170页

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