| 致谢 | 第4-5页 |
| 摘要 | 第5-7页 |
| Abstract | 第7-8页 |
| 1. 引言 | 第12-14页 |
| 2. 文献综述 | 第14-42页 |
| 2.1 金刚石的性能 | 第14-15页 |
| 2.2 CVD制备金刚石膜的原理和方法 | 第15-20页 |
| 2.2.1 CVD金刚石膜制备原理 | 第15-17页 |
| 2.2.2 CVD金刚石膜制备方法 | 第17-20页 |
| 2.3 CVD金刚石自支撑膜制备技术的研究进展 | 第20-26页 |
| 2.3.1 国外CVD自支撑金刚石膜制备技术的发展 | 第20-23页 |
| 2.3.2 我国自支撑CVD金刚石膜制备技术的发展 | 第23-26页 |
| 2.4 金刚石膜力学性能的影响因素 | 第26-42页 |
| 2.4.1 本征影响因素 | 第27-34页 |
| 2.4.2 非本征影响因素 | 第34-42页 |
| 3. 研究内容和实验方法 | 第42-51页 |
| 3.1 研究内容和思路 | 第42-43页 |
| 3.1.1 研究内容 | 第42-43页 |
| 3.1.2 研究思路 | 第43页 |
| 3.2 实验方法 | 第43-51页 |
| 3.2.1 Plasma Jet CVD金刚石膜板的制备 | 第43-45页 |
| 3.2.2 Plasma Jet CVD金刚石膜板平整化 | 第45-46页 |
| 3.2.3 Plasma Jet CVD金刚石膜板表征方法 | 第46-49页 |
| 3.2.4 Plasma Jet CVD金刚石膜板力学性能数值模拟 | 第49-51页 |
| 4. Plasma Jet CVD金刚石膜板制备与基本特征 | 第51-71页 |
| 4.1 金刚石膜板制备 | 第51-57页 |
| 4.2 金刚石膜板基本特征 | 第57-69页 |
| 4.2.1 金刚石膜板形貌特征 | 第57-60页 |
| 4.2.2 金刚石膜板生长方向晶体取向规律 | 第60-65页 |
| 4.2.3 金刚石膜板晶界特征 | 第65-69页 |
| 4.3 本章小结 | 第69-71页 |
| 5. 高强度金刚石膜板的多重孪晶机制 | 第71-91页 |
| 5.1 宏观晶粒尺寸对金刚石膜断裂强度的影响规律 | 第71-73页 |
| 5.2 厚度对金刚石膜断裂强度的影响规律 | 第73-76页 |
| 5.2.1 生长厚度与断裂强度的影响规律 | 第74-75页 |
| 5.2.2 取向厚度对断裂强度的影响 | 第75-76页 |
| 5.3 晶界对断裂过程中的影响规律 | 第76-82页 |
| 5.4 金刚石膜板多重孪晶增强机制 | 第82-90页 |
| 5.5 本章小结 | 第90-91页 |
| 6. 多重孪晶机制对金刚石膜板断裂韧性的影响研究 | 第91-102页 |
| 6.1 金刚石膜板断裂韧性检测 | 第91-99页 |
| 6.1.1 裂纹形式对断裂韧性的影响 | 第91-92页 |
| 6.1.2 金刚石膜板断裂韧性尖锐预裂纹的制备 | 第92-95页 |
| 6.1.3 金刚石膜板断裂韧性评价研究 | 第95-99页 |
| 6.2 金刚石膜板不同方向断裂韧性差异研究 | 第99-101页 |
| 6.3 本章小结 | 第101-102页 |
| 7. 超厚金刚石膜板制备和ISO标准金刚石试样断裂强度研究 | 第102-115页 |
| 7.1 金刚石超厚膜板的制备及表征 | 第102-103页 |
| 7.2 ISO标准尺寸金刚石三点弯曲断裂强度样品的制备 | 第103-111页 |
| 7.3 ISO标准尺寸金刚石断裂强度评价 | 第111-114页 |
| 7.4 本章小结 | 第114-115页 |
| 8. 高温低压热处理提升断裂性能的研究 | 第115-132页 |
| 8.1 高温低压快速热处理实验温度选择 | 第115-119页 |
| 8.2 金刚石膜板高温低压热处理断裂强度提升机制 | 第119-129页 |
| 8.2.1 高温低压热处理石墨化对断裂强度的提升机理 | 第119-126页 |
| 8.2.2 晶界对热处理断裂强度提升幅度的影响 | 第126-129页 |
| 8.3 高温低压热处理对断裂韧性的影响规律 | 第129-131页 |
| 8.4 本章小结 | 第131-132页 |
| 9. 结论 | 第132-134页 |
| 不足及展望 | 第134-135页 |
| 论文创新点 | 第135-136页 |
| 参考文献 | 第136-150页 |
| 作者简介及在学研究成果 | 第150-154页 |
| 学位论文数据集 | 第154页 |
