| 摘要 | 第5-7页 |
| Abstract | 第7-8页 |
| 第1章 绪论 | 第12-28页 |
| 1.1 背景及意义 | 第12-13页 |
| 1.2 声表面波技术在微流控领域中的应用 | 第13-19页 |
| 1.2.1 声表面波技术简介 | 第13-14页 |
| 1.2.2 微流体的混合 | 第14页 |
| 1.2.3 微流体的泵送 | 第14-15页 |
| 1.2.4 液滴加热 | 第15页 |
| 1.2.5 液滴驱动 | 第15-16页 |
| 1.2.6 液滴雾化 | 第16-17页 |
| 1.2.7 悬浮粒子操纵 | 第17-19页 |
| 1.3 微流控分选技术概述 | 第19-27页 |
| 1.3.1 被动分选技术 | 第19-22页 |
| 1.3.2 主动分选技术 | 第22-27页 |
| 1.4 本文主要研究内容及章节 | 第27-28页 |
| 第2章 声表面波技术及声流耦合理论基础 | 第28-44页 |
| 2.1 声表面波器件的结构与原理 | 第28页 |
| 2.2 压电基片材料及切向 | 第28-31页 |
| 2.2.1 压电材料的选择 | 第28-29页 |
| 2.2.2 压电材料的切向 | 第29-31页 |
| 2.3 叉指型换能器 | 第31-37页 |
| 2.3.1 基本结构与工作原理 | 第31-33页 |
| 2.3.2 叉指型换能器的基本特性 | 第33-35页 |
| 2.3.3 基本参数设定 | 第35-37页 |
| 2.4 声流耦合及微粒受力分析 | 第37-42页 |
| 2.4.1 声流效应 | 第37-38页 |
| 2.4.2 微粒在声场下的受力分析 | 第38-42页 |
| 2.5 本章小结 | 第42-44页 |
| 第3章 粒子分选微流控芯片的模拟仿真分析 | 第44-64页 |
| 3.1 基于COMSOL的声表面波器件仿真分析 | 第44-51页 |
| 3.1.1 模态分析 | 第44-46页 |
| 3.1.2 谐响应分析 | 第46-47页 |
| 3.1.3 瞬态仿真分析 | 第47-48页 |
| 3.1.4 叉指换能器对数的仿真分析 | 第48-51页 |
| 3.2 基于MATLAB的微粒在声场区域的运动情况仿真分析 | 第51-56页 |
| 3.3 微粒在微流道中的运动轨迹仿真分析 | 第56-63页 |
| 3.3.1 微粒在微流道入口处的仿真分析 | 第56-58页 |
| 3.3.2 微粒在微流道出口处的仿真分析 | 第58-60页 |
| 3.3.3 微粒在整个微流道中的仿真分析 | 第60-63页 |
| 3.4 本章小结 | 第63-64页 |
| 第4章 基于声表面波技术的粒子分选微流控芯片的设计与制作 | 第64-74页 |
| 4.1 基于声表面波技术的粒子分选微流控芯片的设计 | 第64-65页 |
| 4.2 微流道系统的制作 | 第65-69页 |
| 4.2.1 模具的设计制作 | 第66-68页 |
| 4.2.2 PDMS微流道系统的制作 | 第68-69页 |
| 4.3 声表面波器件的制作 | 第69-70页 |
| 4.4 粒子分选微流控芯片的键合封装 | 第70-71页 |
| 4.5 芯片后续处理 | 第71-72页 |
| 4.6 本章小结 | 第72-74页 |
| 第5章 利用粒子分选微流控芯片对微粒进行多级分选的实验研究 | 第74-96页 |
| 5.1 粒子分选的原理及过程 | 第74页 |
| 5.2 粒子分选实验 | 第74-79页 |
| 5.2.1 实验使用的试剂、仪器及设备 | 第74-75页 |
| 5.2.2 微粒观察实验 | 第75-76页 |
| 5.2.3 声流效应实验研究 | 第76-77页 |
| 5.2.4 实验平台搭建及实验步骤 | 第77-79页 |
| 5.3 实验结果及分析 | 第79-93页 |
| 5.3.1 微粒在微流道岔口汇聚处运动轨迹的实验研究 | 第79-80页 |
| 5.3.2 微粒在微流道主流道运动轨迹的实验研究 | 第80-84页 |
| 5.3.3 微粒在微流道出口处运动轨迹的实验研究 | 第84-93页 |
| 5.4 本章小结 | 第93-96页 |
| 第6章 结论与展望 | 第96-98页 |
| 6.1 本文结论 | 第96-97页 |
| 6.2 本文创新点 | 第97页 |
| 6.3 问题与展望 | 第97-98页 |
| 参考文献 | 第98-106页 |
| 作者简介及攻读硕士期间学术成果 | 第106-108页 |
| 致谢 | 第108页 |
