摘要 | 第4-6页 |
abstract | 第6-8页 |
第一章 绪论 | 第12-24页 |
1.1 研究背景及意义 | 第12-13页 |
1.2 半导体气体传感器简介 | 第13-18页 |
1.2.1 半导体气体传感器的分类 | 第13-14页 |
1.2.2 半导体电阻型气体传感器的气敏测试内容 | 第14-16页 |
1.2.3 氧化铟在氮氧化物气体传感器方面的应用 | 第16-18页 |
1.3 石墨烯的制备方法及其在气体传感方向的应用 | 第18-21页 |
1.4 石墨烯-半导体氧化物复合材料的制备及其在气体传感方面的应用 | 第21-22页 |
1.5 本论文的实验思路和主要内容 | 第22-24页 |
第二章 基于片花状In_2O_3-rGO复合材料的NO_2传感器 | 第24-37页 |
2.1 引言 | 第24页 |
2.2 实验试剂及仪器 | 第24-25页 |
2.3 材料制备 | 第25-26页 |
2.3.1 氧化石墨烯的制备 | 第25页 |
2.3.2 复合材料的制备 | 第25-26页 |
2.4 器件制作及气敏测试 | 第26-27页 |
2.5 结果与讨论 | 第27-36页 |
2.5.1 形貌及成份表征 | 第27-31页 |
2.5.2 气体敏感特性研究 | 第31-34页 |
2.5.3 气敏机理分析 | 第34-36页 |
2.6 本章小结 | 第36-37页 |
第三章 基于棒花状In_2O_3-rGO复合材料的NO_2传感器 | 第37-45页 |
3.1 引言 | 第37页 |
3.2 实验试剂及仪器 | 第37-38页 |
3.3 材料制备 | 第38页 |
3.4 器件制作及气敏测试 | 第38页 |
3.5 结果与讨论 | 第38-44页 |
3.5.1 形貌及成份表征 | 第38-41页 |
3.5.2 气体敏感特性研究 | 第41-43页 |
3.5.3 气敏机理分析 | 第43-44页 |
3.6 本章小结 | 第44-45页 |
第四章 基于立方状In_2O_3修饰的rGO气凝胶复合材料的NO_2传感器 | 第45-52页 |
4.1 引言 | 第45页 |
4.2 实验试剂及仪器 | 第45-46页 |
4.3 材料制备 | 第46页 |
4.4 器件制作及气敏测试 | 第46页 |
4.5 结果与讨论 | 第46-51页 |
4.5.1 形貌及成份表征 | 第46-48页 |
4.5.2 气体敏感特性研究 | 第48-50页 |
4.5.3 气敏机理分析 | 第50-51页 |
4.6 本章小结 | 第51-52页 |
第五章 结论 | 第52-54页 |
参考文献 | 第54-60页 |
作者简介及攻读硕士研究生期间发表论文 | 第60-62页 |
致谢 | 第62页 |