| 摘要 | 第4-6页 |
| Abstract | 第6-7页 |
| 1 绪论 | 第11-31页 |
| 1.1 引言 | 第11-12页 |
| 1.2 涂层的制备方法 | 第12-22页 |
| 1.2.1 物理气相沉积 | 第12-20页 |
| 1.2.2 化学气相沉积 | 第20-21页 |
| 1.2.3 其他制备方法 | 第21-22页 |
| 1.3 金属氮化物硬质涂层 | 第22-29页 |
| 1.3.1 Ti-N系列涂层 | 第22-24页 |
| 1.3.2 Cr-N系列涂层 | 第24-25页 |
| 1.3.3 金属氮化物的合金化涂层 | 第25-29页 |
| 1.4 选题背景和研究内容 | 第29-31页 |
| 1.4.1 选题背景 | 第29-30页 |
| 1.4.2 本文研究内容 | 第30-31页 |
| 2 涂层的制备与性能测试 | 第31-35页 |
| 2.1 涂层沉积 | 第31-32页 |
| 2.1.1 磁控溅射 | 第31-32页 |
| 2.1.2 阴极弧蒸发 | 第32页 |
| 2.2 涂层检测方法与检测设备 | 第32-33页 |
| 2.2.1 X射线衍射(XRD) | 第32-33页 |
| 2.2.2 扫描电子显微镜(SEM) | 第33页 |
| 2.2.3 纳米压痕(Nano-indentation) | 第33页 |
| 2.3 涂层的热稳定性 | 第33-34页 |
| 2.4 涂层的抗氧化性能 | 第34页 |
| 2.5 涂层的切削性能 | 第34-35页 |
| 3 磁控溅射与阴极弧蒸发沉积Ti-Al-N涂层性能对比 | 第35-45页 |
| 3.1 引言 | 第35页 |
| 3.2 实验 | 第35页 |
| 3.3 结果与讨论 | 第35-44页 |
| 3.3.1 涂层的微观结构 | 第35-38页 |
| 3.3.2 涂层的热稳定性 | 第38-39页 |
| 3.3.3 涂层的维氏硬度 | 第39-40页 |
| 3.3.4 涂层的抗氧化性能 | 第40-42页 |
| 3.3.5 涂层刀具的切削性能 | 第42-44页 |
| 3.4 本章小结 | 第44-45页 |
| 4 添加Si对Ti-Al-N涂层的微结构与热性能的影响 | 第45-58页 |
| 4.1 引言 | 第45页 |
| 4.2 实验 | 第45-46页 |
| 4.3 结果和讨论 | 第46-56页 |
| 4.3.1 涂层的微观结构 | 第46-47页 |
| 4.3.2 涂层的热稳定性和维氏硬度 | 第47-50页 |
| 4.3.3 涂层的抗氧化性能 | 第50-56页 |
| 4.4 本章小结 | 第56-58页 |
| 5 添加Cr对Ti-Al-Cr-N涂层的微结构与热性能的影响 | 第58-69页 |
| 5.1 引言 | 第58页 |
| 5.2 实验 | 第58-59页 |
| 5.3 结果和讨论 | 第59-68页 |
| 5.3.1 涂层的微观结构和维氏硬度 | 第59-60页 |
| 5.3.2 涂层的热稳定性 | 第60-63页 |
| 5.3.3 涂层的抗氧化性能 | 第63-67页 |
| 5.3.4 涂层刀具的切削性能 | 第67-68页 |
| 5.4 本章小结 | 第68-69页 |
| 6 Cr_(1-x)Al_xN涂层的微结构与热性能 | 第69-80页 |
| 6.1 引言 | 第69页 |
| 6.2 实验 | 第69页 |
| 6.3 结果和讨论 | 第69-78页 |
| 6.3.1 涂层的微观结构和维氏硬度 | 第69-71页 |
| 6.3.2 涂层的热稳定性 | 第71-74页 |
| 6.3.3 Al含量对涂层抗氧化性能的影响 | 第74-77页 |
| 6.3.4 涂层刀具的切削性能 | 第77-78页 |
| 6.4 本章小结 | 第78-80页 |
| 7 添加Zr对Cr-Al-Zr-N涂层的微结构和热性能的影响 | 第80-93页 |
| 7.1 引言 | 第80页 |
| 7.2 实验 | 第80-81页 |
| 7.3 结果和讨论 | 第81-91页 |
| 7.3.1 涂层的微结构和维氏硬度 | 第81-83页 |
| 7.3.2 涂层的热稳定性 | 第83-87页 |
| 7.3.3 涂层的抗氧化性能 | 第87-91页 |
| 7.4 本章小结 | 第91-93页 |
| 8 结论 | 第93-95页 |
| 参考文献 | 第95-113页 |
| 攻读学位期间发表的论文 | 第113-114页 |
| 致谢 | 第114页 |
