| 附件 | 第5-6页 |
| 摘要 | 第6-8页 |
| Abstract | 第8-10页 |
| 目录 | 第11-15页 |
| 第1章 绪论 | 第15-29页 |
| 1.1 引言 | 第15页 |
| 1.2 微小型泵种类及特点 | 第15-18页 |
| 1.2.1 电液动力型微泵 | 第15页 |
| 1.2.2 静电驱动型微泵 | 第15-16页 |
| 1.2.3 热驱动型微泵 | 第16-17页 |
| 1.2.4 行波驱动型微泵 | 第17-18页 |
| 1.2.5 电磁驱动型微泵 | 第18页 |
| 1.2.6 压电泵 | 第18页 |
| 1.3 压电泵国内外研究现状 | 第18-23页 |
| 1.4 压电泵的应用 | 第23-24页 |
| 1.4.1 医疗方面的应用 | 第23页 |
| 1.4.2 在化学分析中的应用 | 第23-24页 |
| 1.4.3 在电子芯片冷却方面的应用 | 第24页 |
| 1.5 电泵驱动电路的发展 | 第24-25页 |
| 1.6 压电自感知技术国内外研究现状 | 第25-27页 |
| 1.7 选题意义及本文研究内容 | 第27-29页 |
| 第2章 泵用压电振子作用机理及性能测试 | 第29-39页 |
| 2.1 压电基础特性 | 第29-31页 |
| 2.1.1 压电效应 | 第29页 |
| 2.1.2 压电材料 | 第29页 |
| 2.1.3 压电材料重要特性参数 | 第29-31页 |
| 2.2 压电晶片驱动器原理及工作方式分析 | 第31-33页 |
| 2.2.1 驱动原理 | 第31-33页 |
| 2.2.2 工作方式及性能分析 | 第33页 |
| 2.3 阻抗法分析压电振子特性 | 第33-37页 |
| 2.3.1 理论依据 | 第34-36页 |
| 2.3.2 压电振子阻抗特性测试 | 第36-37页 |
| 2.4 圆形压电振子工作性能测试 | 第37-38页 |
| 2.5 本章小结 | 第38-39页 |
| 第3章 单双相压电泵结构设计 | 第39-55页 |
| 3.1 单腔单振子压电泵结构设计 | 第39-44页 |
| 3.1.1 单向截止阀的选择 | 第39-41页 |
| 3.1.2 压电泵工作原理及结构设计 | 第41-42页 |
| 3.1.3 单腔单振子压电泵结构参数确定 | 第42页 |
| 3.1.4 泵腔体积变化量分析 | 第42-44页 |
| 3.1.5 单腔单振子压电泵理论输出能力 | 第44页 |
| 3.2 双腔串联压电泵设计 | 第44-47页 |
| 3.2.1 双腔串联压电泵结构设计 | 第44-45页 |
| 3.2.2 双腔串联压电泵工作原理分析 | 第45-46页 |
| 3.2.3 双腔串联压电泵理论输出性能 | 第46-47页 |
| 3.3 双腔并联压电泵设计 | 第47-49页 |
| 3.3.1 双腔并联压电泵结构 | 第47页 |
| 3.3.2 双腔并联压电泵工作原理分析 | 第47-49页 |
| 3.4 主被动阀结合泵设计 | 第49-51页 |
| 3.4.1 主被动阀结合泵结构 | 第49页 |
| 3.4.2 主被动结合泵工作过程 | 第49-50页 |
| 3.4.3 主被阀结构参数设计 | 第50-51页 |
| 3.5 双主动阀压电泵设计 | 第51-54页 |
| 3.5.1 双主动阀压电泵结构 | 第51-52页 |
| 3.5.2 双主动阀压电泵实现液体双向输送原理分析 | 第52-54页 |
| 3.6 本章小结 | 第54-55页 |
| 第4章 单双相压电泵专用驱动电源研制 | 第55-75页 |
| 4.1 模拟式单相压电泵驱动电源研究 | 第55-59页 |
| 4.1.1 压电泵驱动信号要求分析 | 第55-56页 |
| 4.1.2 驱动电源系统 | 第56-58页 |
| 4.1.3 模拟式单相压电泵驱动电源电路性能测试 | 第58-59页 |
| 4.2 程控单相压电泵驱动电路研究 | 第59-64页 |
| 4.2.1 驱动电源系统设计 | 第60-63页 |
| 4.2.2 程控式单相压电泵驱动电源性能测试 | 第63-64页 |
| 4.3 数字控制式双相压电泵驱动电源研究 | 第64-72页 |
| 4.3.1 电源系统设计 | 第65-71页 |
| 4.3.2 数字控制式双相压电泵驱动电源测试 | 第71-72页 |
| 4.4 压电泵驱动电源抗干扰设计 | 第72-74页 |
| 4.5 本章小结 | 第74-75页 |
| 第5章 单双相压电泵输出性能试验研究 | 第75-89页 |
| 5.1 压电泵输出性能测试系统构成 | 第75-76页 |
| 5.2 单腔单振子压电泵输出性能测试 | 第76-77页 |
| 5.2.1 驱动电压对输出流量的影响 | 第76-77页 |
| 5.2.2 驱动频率对泵输出性能的影响 | 第77页 |
| 5.3 双腔串联压电泵输出性能测试 | 第77-80页 |
| 5.3.1 驱动电压对输出流量的影响 | 第77页 |
| 5.3.2 驱动频率对输出流量的影响 | 第77-78页 |
| 5.3.3 两相信号相位差对输出流量的影响 | 第78-79页 |
| 5.3.4 驱动频率对输出压力的影响 | 第79页 |
| 5.3.5 相位差对输出压力影响 | 第79-80页 |
| 5.4 双腔并联压电泵输出性能测试 | 第80-83页 |
| 5.4.1 驱动电压对输出流量的影响 | 第80页 |
| 5.4.2 驱动频率对输出流量的影响 | 第80-81页 |
| 5.4.3 信号相位差对输出流量的影响 | 第81-82页 |
| 5.4.4 驱动频率对输出压力的影响 | 第82页 |
| 5.4.5 相位差对输出压力的影响 | 第82-83页 |
| 5.5 主被动阀结合泵输出性能测试 | 第83-84页 |
| 5.5.1 驱动频率对输出流量的影响 | 第83页 |
| 5.5.2 信号相位差对输出流量的影响 | 第83-84页 |
| 5.6 双主动阀压电泵输出性能测试 | 第84-86页 |
| 5.6.1 驱动频率对输出流量的影响 | 第84-85页 |
| 5.6.2 信号相位差对输出流量影响 | 第85-86页 |
| 5.7 本章小结 | 第86-89页 |
| 第6章 流量自测量及液体输送精密控制 | 第89-107页 |
| 6.1 基于压电自感知与神经网络的流量自测量方法 | 第89-99页 |
| 6.1.1 传感压电片感知压电泵流量原理 | 第89-91页 |
| 6.1.2 用于压电泵流量预测的神经网络 | 第91-93页 |
| 6.1.3 传感压电信号参数测量电路设计 | 第93-95页 |
| 6.1.4 试验研究 | 第95-99页 |
| 6.2 基于定脉冲数控制的液体精密输送方法研究 | 第99-105页 |
| 6.2.1 定脉冲数控制电路硬件设计 | 第99-101页 |
| 6.2.2 定脉冲数控制软件设计流程 | 第101-102页 |
| 6.2.3 液体输送精密控制试验研究 | 第102-105页 |
| 6.3 本章小结 | 第105-107页 |
| 第7章 结论 | 第107-111页 |
| 参考文献 | 第111-120页 |
| 作者简介及在学期间所取得的科研成果 | 第120-121页 |
| 1. 发表的学术论文 | 第120页 |
| 2. 参加的科研项目 | 第120页 |
| 3. 作者简介 | 第120-121页 |
| 致谢 | 第121页 |