| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-9页 |
| 第一章 绪论 | 第9-21页 |
| ·非晶薄膜材料概述 | 第9-15页 |
| ·非晶薄膜概况 | 第9-11页 |
| ·非晶碳膜的结构模型 | 第11-13页 |
| ·制备非晶薄膜的常用方法 | 第13-15页 |
| ·气敏传感器材料简介 | 第15-17页 |
| ·课题的研究背景和意义 | 第17-20页 |
| ·本论文的工作内容 | 第20-21页 |
| 第二章 样品的制备与表征方法 | 第21-28页 |
| ·非晶碳膜的制备原理 | 第21-22页 |
| ·样品的制备过程 | 第22-23页 |
| ·常用的样品表征方法 | 第23-26页 |
| ·扫描电子显微镜（SEM） | 第23页 |
| ·原子力显微镜（AFM） | 第23-24页 |
| ·拉曼光谱（Raman） | 第24-25页 |
| ·X射线光电子能谱（XPS） | 第25页 |
| ·X射线能谱仪（EDS） | 第25-26页 |
| ·样品电学性能的测量方法 | 第26-27页 |
| ·气体敏感性的测量方法 | 第27-28页 |
| 第三章 非晶碳膜的气体敏感特性 | 第28-49页 |
| ·基于非晶碳膜/硅异质结电容变化的氨气敏感特性研究 | 第28-35页 |
| ·氨气敏感材料的研究现状及其应用前景 | 第28-29页 |
| ·样品准备及实验方法 | 第29页 |
| ·具有氨气敏感特性的薄膜的表征与结构 | 第29-31页 |
| ·氨气对C/Si异质结电输运特性的影响 | 第31-33页 |
| ·氨气气敏探测机理解释 | 第33-35页 |
| ·碳纳米尖阵列/硅异质结对酒精的敏感特性 | 第35-42页 |
| ·酒精气敏传感器的研究现状与应用前景 | 第35-36页 |
| ·样品制备及实验方法 | 第36页 |
| ·结果与讨论 | 第36-42页 |
| ·碳纳米薄膜/硅异质结的湿度敏感特性研究 | 第42-48页 |
| ·湿度敏感材料的研究现状及其应用前景 | 第42-43页 |
| ·样品制备与实验方法 | 第43-44页 |
| ·实验结果与讨论 | 第44-48页 |
| ·本章小结 | 第48-49页 |
| 第四章 掺钯碳膜/硅异质结的电输运性质及氢气敏感性 | 第49-56页 |
| ·引言 | 第49-50页 |
| ·样品准备与实验方法 | 第50页 |
| ·结构与表征 | 第50-53页 |
| ·电学性质及对氢气的敏感性 | 第53-55页 |
| ·本章小结 | 第55-56页 |
| 结论 | 第56-58页 |
| 参考文献 | 第58-68页 |
| 在学期间的研究成果 | 第68-70页 |
| 致谢 | 第70页 |