| 摘要 | 第3-4页 |
| Abstract | 第4页 |
| 1 绪论 | 第7-18页 |
| 1.1 课题研究背景 | 第7页 |
| 1.2 曲率半径测量方法研究现状 | 第7-16页 |
| 1.2.1 接触式测量方法 | 第8-10页 |
| 1.2.2 非接触式测量方法 | 第10-16页 |
| 1.3 曲率半径测量方法总结 | 第16-17页 |
| 1.4 主要研究内容 | 第17-18页 |
| 2 长曲率半径测量原理及平面干涉仪光路结构设计 | 第18-29页 |
| 2.1 基于斐索平面干涉仪测量长曲率半径的方法及原理 | 第18-21页 |
| 2.1.1 牛顿环法测量长曲率半径 | 第18-20页 |
| 2.1.2 波面恢复法测量长曲率半径 | 第20-21页 |
| 2.2 测试光路结构介绍 | 第21-27页 |
| 2.2.1 斐索平面干涉仪光路结构 | 第21-22页 |
| 2.2.2 准直光路以及成像光路的设计 | 第22-25页 |
| 2.2.3 整体干涉光路模型的建立 | 第25页 |
| 2.2.4 硬件参数的选取 | 第25-27页 |
| 2.3 本章小结 | 第27-29页 |
| 3 莫尔变异牛顿环法测量长曲率半径 | 第29-57页 |
| 3.1 牛顿环法测量曲率半径的共性步骤 | 第29-41页 |
| 3.1.1 牛顿环干涉图的预处理 | 第29-34页 |
| 3.1.2 圆心坐标标定 | 第34-35页 |
| 3.1.3 暗纹中心的定位 | 第35-38页 |
| 3.1.4 传统牛顿环法实验结果 | 第38-41页 |
| 3.2 莫尔变异牛顿环法 | 第41-55页 |
| 3.2.1 变异牛顿环法测量长曲率半径原理 | 第41-43页 |
| 3.2.2 莫尔变异牛顿环法原理 | 第43-53页 |
| 3.2.3 莫尔变异牛顿环法实验结果 | 第53-55页 |
| 3.3 本章小结 | 第55-57页 |
| 4 波面恢复法测量长曲率半径 | 第57-72页 |
| 4.1 波面恢复方法 | 第57-61页 |
| 4.1.1 移相法 | 第57-58页 |
| 4.1.2 FFT法 | 第58-60页 |
| 4.1.3 虚光栅莫尔条纹移相法 | 第60-61页 |
| 4.2 最小二乘球面拟合法测量长曲率半径 | 第61-64页 |
| 4.2.1 最小二乘球面拟合法测量长曲率半径原理 | 第61-62页 |
| 4.2.2 最小二乘球面拟合法测量长曲率半径实验结果 | 第62-64页 |
| 4.3 莫尔移相波前差分法测量长曲率半径 | 第64-71页 |
| 4.3.1 莫尔移相波前差分法测量长曲率半径原理 | 第64-66页 |
| 4.3.2 莫尔移相波前差分法仿真结果 | 第66-69页 |
| 4.3.3 莫尔移相波前差分法实验结果 | 第69-71页 |
| 4.4 本章小结 | 第71-72页 |
| 5 误差分析及补偿方法 | 第72-78页 |
| 5.1 回程误差分析 | 第72-75页 |
| 5.2 回程误差补偿 | 第75-76页 |
| 5.3 本章小结 | 第76-78页 |
| 6 总结与展望 | 第78-80页 |
| 致谢 | 第80-81页 |
| 参考文献 | 第81-84页 |
| 附录 | 第84页 |