| 摘要 | 第3-5页 |
| Abstract | 第5-7页 |
| 1 综述 | 第10-18页 |
| 1.1 引言 | 第10页 |
| 1.2 TiO_2的基本结构和性质 | 第10-12页 |
| 1.3 过渡金属掺杂TiO_2磁性和光学性质的研究 | 第12-15页 |
| 1.4 本论文的思路及安排 | 第15-18页 |
| 2 样品制备及测试方法 | 第18-24页 |
| 2.1 引言 | 第18页 |
| 2.2 靶材的制备 | 第18-19页 |
| 2.3 薄膜样品的制备 | 第19-20页 |
| 2.4 薄膜样品的结构表征 | 第20-22页 |
| 2.5 薄膜样品的性能表征 | 第22-24页 |
| 3 Cr掺杂TiO_2薄膜结构、磁性及光学性质的研究 | 第24-34页 |
| 3.1 引言 | 第24页 |
| 3.2 实验方法 | 第24页 |
| 3.3 氧气分压对TiO_2薄膜结构及磁性的影响 | 第24-27页 |
| 3.4 Cr掺杂TiO_2薄膜的结构 | 第27-30页 |
| 3.5 Cr掺杂TiO_2薄膜的磁性及光学性质 | 第30-33页 |
| 3.6 本章小结 | 第33-34页 |
| 4 Cr/N共掺TiO_2薄膜结构、形貌和相转变的研究 | 第34-40页 |
| 4.1 引言 | 第34页 |
| 4.2 实验方法 | 第34页 |
| 4.3 基片温度对Cr/N共掺TiO_2薄膜结构和形貌的影响 | 第34-36页 |
| 4.4 共掺杂剂N对Cr/N共掺TiO_2薄膜结构和相转变的影响 | 第36-39页 |
| 4.5 本章小结 | 第39-40页 |
| 5 Cr/N共掺TiO_2薄膜磁性以及光学性质的研究 | 第40-52页 |
| 5.1 引言 | 第40页 |
| 5.2 实验方法 | 第40页 |
| 5.3 Cr/N共掺TiO_2薄膜的结构 | 第40-42页 |
| 5.4 Cr/N共掺TiO_2薄膜的磁性 | 第42-44页 |
| 5.5 Cr/N共掺TiO_2薄膜的光学性质 | 第44-46页 |
| 5.6 样品成分、价态及微观结构分析 | 第46-51页 |
| 5.7 本章小结 | 第51-52页 |
| 6 结论 | 第52-54页 |
| 致谢 | 第54-56页 |
| 参考文献 | 第56-62页 |
| 附录 | 第62页 |
