| 中文摘要 | 第4-5页 |
| Abstract | 第5-6页 |
| 第一章 序言 | 第9-20页 |
| 1.1 等离子体概述 | 第9-10页 |
| 1.2 低温等离子体的放电类型 | 第10-15页 |
| 1.2.1 直流放电法 | 第10-11页 |
| 1.2.2 高频放电和微波放电法 | 第11-15页 |
| 1.3 等离子体的应用概述 | 第15-16页 |
| 1.4 低温电负性等离子体的诊断研究概况 | 第16-18页 |
| 1.5 本文的主要研究内容 | 第18-20页 |
| 第二章 电负性等离子体的Langmuir探针和激光诱导光致剥离诊断技术 | 第20-34页 |
| 2.1 Langmuir静电探针诊断技术 | 第20-25页 |
| 2.1.1 Langmuir静电探针诊断原理 | 第20-21页 |
| 2.1.2 Langmuir静电探针诊断数据分析方法 | 第21-23页 |
| 2.1.3 Langmuir静电探针对负离子密度和电负度的测量 | 第23-25页 |
| 2.2 探针辅助的激光诱导光致剥离技术（LIPD） | 第25-34页 |
| 2.2.1 LIPD诊断技术原理 | 第25-26页 |
| 2.2.2 LIPD诊断技术对负离子剥离出的光电子的检测 | 第26-27页 |
| 2.2.3 LIPD诊断技术对负离子密度的测量 | 第27-29页 |
| 2.2.4 影响LIPD方法对负离子密度诊断的因素 | 第29-34页 |
| 第三章 容性耦合电负性等离子体的实验与诊断装置和实验安排 | 第34-37页 |
| 3.1 容性耦合等离子体实验与诊断装置 | 第34-36页 |
| 3.2 容性耦合电负性等离子体诊断的实验安排 | 第36-37页 |
| 第四章 容性耦合电负性等离子体的诊断结果与分析 | 第37-63页 |
| 4.1 Langmuir探针对容性耦合电负性等离子体的诊断结果与分析 | 第37-49页 |
| 4.1.1 容性耦合电负性等离子体中Langmuir探针的I-V特性曲线 | 第37-39页 |
| 4.1.2 容性耦合电负性等离子体的电子能量概率分布函数EEPF | 第39-41页 |
| 4.1.3 容性耦合电负性等离子体中的电子密度ne与正离子密度n+ | 第41-44页 |
| 4.1.4 容性耦合电负性等离子体的空间电位Vs与悬浮电位Vf | 第44-46页 |
| 4.1.5 容性耦合电负性等离子体的电子温度Te | 第46-48页 |
| 4.1.6 容性耦合电负性等离子体的电负度 α | 第48-49页 |
| 4.2 LIPD方法对电负性氧气等离子体的诊断结果与分析 | 第49-63页 |
| 4.2.1 负离子完全剥离的激光脉冲能量密度阈值 | 第49-50页 |
| 4.2.2 LIPD诊断实验中电流信号曲线随探针偏压的变化 | 第50-52页 |
| 4.2.3 LIPD诊断实验中探针电流信号曲线随功率、气压的变化 | 第52-58页 |
| 4.2.4 氧气等离子体的空间电位随气压和功率的变化 | 第58-60页 |
| 4.2.5 氧气等离子体的电负度随功率、气压的变化 | 第60-63页 |
| 第五章 总结 | 第63-64页 |
| 参考文献 | 第64-70页 |
| 攻读硕士学位期间公开发表的论文 | 第70-71页 |
| 致谢 | 第71-72页 |
