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若干因素对铜及铜合金电沉积/腐蚀机制的影响研究

致谢第4-5页
摘要第5-7页
Abstract第7-9页
1 引言第13-15页
2 文献综述第15-42页
    2.1 铜电沉积的界面过程第15-16页
    2.2 铜电沉积过程的影响因素第16-26页
        2.2.1 添加剂的影响第16-22页
        2.2.2 特性吸附离子的影响第22-24页
        2.2.3 液流状态等其它因素的影响第24-26页
    2.3 铜电化学溶解的界面过程第26-29页
    2.4 铜电化学溶解过程影响因素第29-39页
        2.4.1 缓蚀剂的影响第29-31页
        2.4.2 特性吸附离子的影响第31-34页
        2.4.3 合金元素等其它因素的影响第34-39页
    2.5 目前研究中存在的问题第39-40页
    2.6 本研究的主要内容第40-42页
3 铜电沉积过程中明胶与电解液对流的协同作用研究第42-56页
    3.1 引言第42-43页
    3.2 实验方法第43-45页
        3.2.1 实验溶液与电解铜箔制备第43-44页
        3.2.2 电解铜箔微观组织及性能表征第44-45页
    3.3 实验结果与讨论第45-53页
        3.3.1 明胶与电解液对流状态的共同作用(电化学研究)第45-47页
        3.3.2 明胶与电解液对流对铜箔表面形貌、微观组织等的影响第47-53页
    3.4 明胶与电解液对流共同作用下的铜箔生长模型讨论第53-55页
    3.5 本章小结第55-56页
4 铜电沉积/溶解过程中BTAH与Cl~-的作用机理研究第56-73页
    4.1 引言第56-57页
    4.2 实验方法第57-58页
        4.2.1 实验溶液、电沉积薄膜制备及电化学实验条件第57页
        4.2.2 铜电沉积膜的微观组织等性能表征第57-58页
    4.3 实验结果与讨论第58-70页
        4.3.1 BTAH与Cl~-的表面吸附形式(电化学研究)第58-65页
        4.3.2 BTAH与Cl~-对铜沉积薄膜表面形貌及组织等的影响第65-69页
        4.3.3 BTAH与Cl~-对铜沉积薄膜耐蚀性的影响第69-70页
    4.4 BTAH与Cl~-的表面吸附机制讨论第70-72页
    4.5 本章小结第72-73页
5 铜合金Cu-5Zn-5Al-1Sn表面氧化膜的多手段研究第73-88页
    5.1 引言第73页
    5.2 实验方法第73-75页
        5.2.1 实验材料与表面制备第73-74页
        5.2.2 基体表征与表面分析第74-75页
    5.3 实验结果与讨论第75-85页
        5.3.1 Cu-5Zn-5Al-1Sn基体微观组织与成分分析第75-78页
        5.3.2 初始氧化膜厚度与成分分析第78-82页
        5.3.3 初始氧化膜保护性分析第82-85页
    5.4 合金元素成分在Cu-5Zn-5Al-1Sn表面氧化膜的分布讨论第85-86页
    5.5 本章小结第86-88页
6 铜合金Cu-5Zn-5Al-1Sn在富含氯离子大气环境下的腐蚀演变第88-106页
    6.1 引言第88页
    6.2 实验方法第88-90页
        6.2.1 实验材料与表面制备第88-89页
        6.2.2 腐蚀速率与金属流失速率测试第89-90页
        6.2.3 腐蚀产物表征第90页
    6.3 实验结果与讨论第90-104页
        6.3.1 海洋大气环境暴露下的腐蚀产物分析第91-97页
        6.3.2 实验室加速条件下的腐蚀产物分析第97-101页
        6.3.3 腐蚀产物的防护性第101-104页
    6.4 本章小结第104-106页
7 铜合金Cu-4Sn在多种自然大气环境下的腐蚀演变第106-124页
    7.1 引言第106-107页
    7.2 实验方法第107-109页
        7.2.1 实验材料与表面制备第107-108页
        7.2.2 腐蚀速率与金属流失速率测试第108页
        7.2.3 基体、表面分析与腐蚀产物表征第108-109页
    7.3 实验结果与讨论第109-122页
        7.3.1 锡青铜基体及初始表面氧化物表征第109-112页
        7.3.2 锡青铜在多种自然环境下的腐蚀产物表征第112-120页
        7.3.3 锡青铜在富含氯离子大气环境下腐蚀演变过程第120-122页
    7.4 本章小结第122-124页
8 结论第124-126页
9 创新点第126-127页
参考文献第127-147页
作者简历及在学研究成果第147-151页
学位论文数据集第151页

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