致谢 | 第4-5页 |
摘要 | 第5-7页 |
Abstract | 第7-9页 |
1 引言 | 第13-15页 |
2 文献综述 | 第15-42页 |
2.1 铜电沉积的界面过程 | 第15-16页 |
2.2 铜电沉积过程的影响因素 | 第16-26页 |
2.2.1 添加剂的影响 | 第16-22页 |
2.2.2 特性吸附离子的影响 | 第22-24页 |
2.2.3 液流状态等其它因素的影响 | 第24-26页 |
2.3 铜电化学溶解的界面过程 | 第26-29页 |
2.4 铜电化学溶解过程影响因素 | 第29-39页 |
2.4.1 缓蚀剂的影响 | 第29-31页 |
2.4.2 特性吸附离子的影响 | 第31-34页 |
2.4.3 合金元素等其它因素的影响 | 第34-39页 |
2.5 目前研究中存在的问题 | 第39-40页 |
2.6 本研究的主要内容 | 第40-42页 |
3 铜电沉积过程中明胶与电解液对流的协同作用研究 | 第42-56页 |
3.1 引言 | 第42-43页 |
3.2 实验方法 | 第43-45页 |
3.2.1 实验溶液与电解铜箔制备 | 第43-44页 |
3.2.2 电解铜箔微观组织及性能表征 | 第44-45页 |
3.3 实验结果与讨论 | 第45-53页 |
3.3.1 明胶与电解液对流状态的共同作用(电化学研究) | 第45-47页 |
3.3.2 明胶与电解液对流对铜箔表面形貌、微观组织等的影响 | 第47-53页 |
3.4 明胶与电解液对流共同作用下的铜箔生长模型讨论 | 第53-55页 |
3.5 本章小结 | 第55-56页 |
4 铜电沉积/溶解过程中BTAH与Cl~-的作用机理研究 | 第56-73页 |
4.1 引言 | 第56-57页 |
4.2 实验方法 | 第57-58页 |
4.2.1 实验溶液、电沉积薄膜制备及电化学实验条件 | 第57页 |
4.2.2 铜电沉积膜的微观组织等性能表征 | 第57-58页 |
4.3 实验结果与讨论 | 第58-70页 |
4.3.1 BTAH与Cl~-的表面吸附形式(电化学研究) | 第58-65页 |
4.3.2 BTAH与Cl~-对铜沉积薄膜表面形貌及组织等的影响 | 第65-69页 |
4.3.3 BTAH与Cl~-对铜沉积薄膜耐蚀性的影响 | 第69-70页 |
4.4 BTAH与Cl~-的表面吸附机制讨论 | 第70-72页 |
4.5 本章小结 | 第72-73页 |
5 铜合金Cu-5Zn-5Al-1Sn表面氧化膜的多手段研究 | 第73-88页 |
5.1 引言 | 第73页 |
5.2 实验方法 | 第73-75页 |
5.2.1 实验材料与表面制备 | 第73-74页 |
5.2.2 基体表征与表面分析 | 第74-75页 |
5.3 实验结果与讨论 | 第75-85页 |
5.3.1 Cu-5Zn-5Al-1Sn基体微观组织与成分分析 | 第75-78页 |
5.3.2 初始氧化膜厚度与成分分析 | 第78-82页 |
5.3.3 初始氧化膜保护性分析 | 第82-85页 |
5.4 合金元素成分在Cu-5Zn-5Al-1Sn表面氧化膜的分布讨论 | 第85-86页 |
5.5 本章小结 | 第86-88页 |
6 铜合金Cu-5Zn-5Al-1Sn在富含氯离子大气环境下的腐蚀演变 | 第88-106页 |
6.1 引言 | 第88页 |
6.2 实验方法 | 第88-90页 |
6.2.1 实验材料与表面制备 | 第88-89页 |
6.2.2 腐蚀速率与金属流失速率测试 | 第89-90页 |
6.2.3 腐蚀产物表征 | 第90页 |
6.3 实验结果与讨论 | 第90-104页 |
6.3.1 海洋大气环境暴露下的腐蚀产物分析 | 第91-97页 |
6.3.2 实验室加速条件下的腐蚀产物分析 | 第97-101页 |
6.3.3 腐蚀产物的防护性 | 第101-104页 |
6.4 本章小结 | 第104-106页 |
7 铜合金Cu-4Sn在多种自然大气环境下的腐蚀演变 | 第106-124页 |
7.1 引言 | 第106-107页 |
7.2 实验方法 | 第107-109页 |
7.2.1 实验材料与表面制备 | 第107-108页 |
7.2.2 腐蚀速率与金属流失速率测试 | 第108页 |
7.2.3 基体、表面分析与腐蚀产物表征 | 第108-109页 |
7.3 实验结果与讨论 | 第109-122页 |
7.3.1 锡青铜基体及初始表面氧化物表征 | 第109-112页 |
7.3.2 锡青铜在多种自然环境下的腐蚀产物表征 | 第112-120页 |
7.3.3 锡青铜在富含氯离子大气环境下腐蚀演变过程 | 第120-122页 |
7.4 本章小结 | 第122-124页 |
8 结论 | 第124-126页 |
9 创新点 | 第126-127页 |
参考文献 | 第127-147页 |
作者简历及在学研究成果 | 第147-151页 |
学位论文数据集 | 第151页 |