| 摘要 | 第4-6页 |
| Abstract | 第6-7页 |
| 第一章 绪论 | 第11-18页 |
| 1.1 湿度和湿度传感器简介 | 第11-13页 |
| 1.2 湿度传感器的特点 | 第13页 |
| 1.3 湿度传感器的性能参数 | 第13-14页 |
| 1.4 湿度传感器的发展史 | 第14-15页 |
| 1.5 湿度传感器的发展趋势 | 第15-16页 |
| 1.6 电阻陶瓷式湿度传感器的感湿机理 | 第16-17页 |
| 1.7 本论文的主要工作 | 第17-18页 |
| 第二章 基于CeO_2-NiO的湿度传感器和湿敏特性 | 第18-28页 |
| 2.1 样品制备 | 第18-19页 |
| 2.2 湿敏元件的制作 | 第19-20页 |
| 2.3 湿敏元件的测试装置 | 第20-22页 |
| 2.3.1 湿度发生装置 | 第20-21页 |
| 2.3.2 湿度测试装置 | 第21-22页 |
| 2.4 材料的表征 | 第22-24页 |
| 2.4.1 X光衍射分析（XRD） | 第22-23页 |
| 2.4.2 扫描电镜分析（SEM） | 第23-24页 |
| 2.5 元件的湿敏特性 | 第24-28页 |
| 2.5.1 频率特性 | 第24页 |
| 2.5.2 湿滞特性 | 第24-25页 |
| 2.5.3 响应恢复特性 | 第25-26页 |
| 2.5.4 长期稳定性 | 第26-28页 |
| 第三章 基于MoO_3-NiO的湿度传感器的研究 | 第28-36页 |
| 3.1 实验步骤 | 第29-30页 |
| 3.2 MoO_3-NiO的表征 | 第30-32页 |
| 3.2.1 XRD表征 | 第30页 |
| 3.2.2 SEM表征 | 第30-31页 |
| 3.2.3 氮气等温吸附脱附表征 | 第31-32页 |
| 3.3 器件的湿敏性能测试 | 第32-34页 |
| 3.3.1 频率的测试 | 第32页 |
| 3.3.2 湿滞的测试 | 第32-33页 |
| 3.3.3 响应恢复时间的测试 | 第33-34页 |
| 3.4 敏感机理分析 | 第34-36页 |
| 第四章 基于SrTiO_3的湿度传感器及感湿机理研究 | 第36-47页 |
| 4.1 SrTiO_3的制备、表征 | 第36-38页 |
| 4.1.1 试剂与仪器 | 第36-37页 |
| 4.1.2 材料制备 | 第37页 |
| 4.1.3 材料表征 | 第37-38页 |
| 4.1.4 器件制备 | 第38页 |
| 4.2 湿敏特性 | 第38-40页 |
| 4.2.1 频率特性 | 第38-39页 |
| 4.2.2 湿滞特性 | 第39-40页 |
| 4.2.3 响应-恢复特性 | 第40页 |
| 4.3 复阻抗分析 | 第40-47页 |
| 4.3.1 Zsimpwin软件使用简介 | 第40-44页 |
| 4.3.2 感湿机理分析 | 第44-47页 |
| 第五章 总结与展望 | 第47-49页 |
| 参考文献 | 第49-55页 |
| 作者简介 | 第55-56页 |
| 攻读硕士期间发表论文 | 第56-57页 |
| 致谢 | 第57-58页 |